Методы синтеза наноструктурных материалов и тонких пленок
Скачать файл:
Полный текст на другом сайтеURI (для ссылок/цитирований):
https://elib.sfu-kras.ru/handle/2311/154039Составитель:
Карпов, Игорь Васильевич
Федоров, Леонид Юрьевич
Коллективный автор:
Сибирский федеральный университет
Институт инженерной физики и радиоэлектроники
Дата:
2024Библиографическое описание:
Методы синтеза наноструктурных материалов и тонких пленок : учебно-методическое пособие / Сибирский федеральный университет, Институт инженерной физики и радиоэлектроники, 2024. - 24 с. - Текст : электронный.Учебно-методическое пособие.
Доступ к полному тексту открыт из сети СФУ, вне сети доступ возможен для читателей Научной библиотеки СФУ или за плату.
Аннотация:
Приведены основные требования к выполнению лабораторных работ по дисциплине «Специальный физический практикум». Дано краткое описание устройств вакуумно-дугового и магнетронного напыления. Изложены основные физические принципы получения наноструктурных материалов в плазме дугового разряда низкого давления и тонких пленок методом магнетронного напыления. Предназначено для студентов и магистрантов, обучающихся по направлению подготовки 03.04.02 «Физика», всех форм обучения.
Права на использование:
Для личного использования.