Показать сокращенную информацию
Методы синтеза наноструктурных материалов и тонких пленок
| Дата внесения | 2024-10-08T09:52:10Z | |
| Дата, когда ресурс стал доступен | 2024-10-08T09:52:10Z | |
| Дата публикации | 2024 | |
| Библиографическое описание | Методы синтеза наноструктурных материалов и тонких пленок : учебно-методическое пособие / Сибирский федеральный университет, Институт инженерной физики и радиоэлектроники, 2024. - 24 с. - Текст : электронный. | |
| URI (для ссылок/цитирований) | https://elib.sfu-kras.ru/handle/2311/154039 | |
| Описание | Учебно-методическое пособие. | |
| Описание | Доступ к полному тексту открыт из сети СФУ, вне сети доступ возможен для читателей Научной библиотеки СФУ или за плату. | |
| Аннотация | Приведены основные требования к выполнению лабораторных работ по дисциплине «Специальный физический практикум». Дано краткое описание устройств вакуумно-дугового и магнетронного напыления. Изложены основные физические принципы получения наноструктурных материалов в плазме дугового разряда низкого давления и тонких пленок методом магнетронного напыления. Предназначено для студентов и магистрантов, обучающихся по направлению подготовки 03.04.02 «Физика», всех форм обучения. | |
| Язык | rus | |
| Издатель | СФУ | |
| Права на использование | Для личного использования. | |
| Тема | нанодисперсные материалы | |
| Тема | наноструктурные материалы | |
| Тема | плазмохимический синтез | |
| Тема | нанесение тонких наноструктурных пленок | |
| Тема | тонкие пленки | |
| Тема | магнетронное напыление | |
| Название | Методы синтеза наноструктурных материалов и тонких пленок | |
| Тип | Book | |
| УДК | 539.2(07) | |
| Коллективный автор | Сибирский федеральный университет | |
| Место издания | Красноярск | |
| Институт | Институт инженерной физики и радиоэлектроники | |
| Полный текст на другом сайте | https://bik.sfu-kras.ru/elib/view?id=BOOK1-539.2%2807%29%2F%D0%9C+545-279134300 | |
| Шифр в ИРБИС | RU/НБ СФУ/BOOK1/539.2(07)/М 545-279134300 | |
| Составитель | Карпов, Игорь Васильевич | |
| Составитель | Федоров, Леонид Юрьевич |
Файлы в этом документе
| Файл | Размер | Формат | Просмотр |
|---|---|---|---|
|
В этом документе нет ни одного файла. |
|||