Аппараты полупроводникового производства
Скачать файл:
Полный текст на другом сайтеURI (для ссылок/цитирований):
Составитель:
Кравцова, Елена Дагриевна
Спектор, Юрий Ефимович
Никифорова, Элеонора Михайловна
Коллективный автор:
Сибирский федеральный университет
Дата:
2012Библиографическое описание:
Аппараты полупроводникового производства : учеб.-метод. пособие для самост. работы студентов спец. 150108 «Порошковая металлургия, композиционные материалы, покрытия» / Сиб. федерал. ун-т, 2012. - Текст : электронный.Учеб.-метод. пособие для самост. работы студентов спец. 150108 «Порошковая металлургия, композиционные материалы, покрытия».
Доступ к полному тексту открыт из сети СФУ, вне сети доступ возможен для читателей Научной библиотеки СФУ или за плату.
Аннотация:
В учебно-методическом пособии приведены многовариантные задания для самостоятельного решения по расчету конструктивных параметров и технологических режимов работы оборудования, используемого в технологических процессах получения полупроводниковых материалов. Предназначено для студентов, обучающихся по направлению «Металлургия», специальность 150108 «Порошковая металлургия, композиционные материалы, покрытия».
Права на использование:
Для личного использования.