Новые материалы наноматериаловедения. Осаждение пленок методом термовакуумной сублимации

Скачать файл:
Полный текст на другом сайте
URI (для ссылок/цитирований):
https://elib.sfu-kras.ru/handle/2311/61399
Составитель:
Чурилов, Григорий Николаевич
Дудник, Александр Иванович
Коллективный автор:
Сибирский федеральный университет
Институт инженерной физики и радиоэлектроники
Дата:
2013
Библиографическое описание:
Новые материалы наноматериаловедения. Осаждение пленок методом термовакуумной сублимации : учебно-методическое пособие для лабораторных работ [для студентов спец. 223200.68 «Техническая физика»] / Сиб. федер. ун-т, Ин-т инженер. физики и радиоэлектроники, 2013. - Текст : электронный.

Учебно-методическое пособие для лабораторных работ [для студентов спец. 223200.68 «Техническая физика»].

Доступ к полному тексту открыт из сети СФУ, вне сети доступ возможен для читателей Научной библиотеки СФУ или за плату.
Аннотация:
В учебно-методическом пособии описаны краткие теоретические сведения по способам получения и измерения вакуума, способам осаждения пленок. В лабораторной работе изучается метод термовакуумной сублимации на примере осаждения тонкой композитной пленки фуллерит-бор на модернизированной установке ВУП-5. Предназначено для студентов специальности 223200.68 «Техническая физика».
Права на использование:

Для личного использования.
Коллекции:
Метаданные:
Показать полную информацию