Проектирование и технология электронной компонентной базы. Конструирование и технология интегральных схем

Abstract

Изложены основные этапы проектирования и технологии изготовления интегральных микросхем. Рассматриваются основные понятия, используемые в микроэлектронике, классификация интегральных микросхем (ИМС), их компонентная база, общие принципы проектирования и изготовления ИМС различного назначения. Большое внимание уделяется расчету основных элементов ИМС, выбору их конструкции, этапам полупроводниковой технологии. Приводятся контрольные задания, упражнения и задачи, что позволяет проводить промежуточный контроль пройденного материала. Представленный материал может быть использован для проведения лабораторных и практических занятий, а также в самостоятельной работе студентов по расчетно-графическому заданию и курсовому проектированию для дисциплин «Проектирование и технология электронной компонентной базы», «Проектирование микросхем и микропроцессоров», «Проектирование элементов микросхем», «Технология микросхем и микропроцессоров», «Микроэлектромеханика». Предназначен по кодификатору ГОС ВПО-2 для направлений подготовки магистров 210100.68 «Электроника и микроэлектроника» и 210200.68 «Проектирование и технология электронных средств»; по кодификатору ФГОС ВПО-3 для направлений подготовки магистров 210100.68 «Электроника и наноэлектроника» и 211000.68 «Конструирование и технология электронных средств». Рекомендуется для всех инженерных специальностей и бакалаврских направлений укрупненных групп 210000 «Электронная техника, радиотехника и связь» и 200000 «Приборостроение и оптотехника».