Проектирование микросистем. Моделирование элементов микроэлектромеханических устройств
Скачать файл:
Полный текст на другом сайтеURI (для ссылок/цитирований):
Составитель:
Левицкий, Алексей Александрович
Липунова, Анна Александровна
Коллективный автор:
Сибирский федеральный университет
Дата:
2012Библиографическое описание:
Проектирование микросистем. Моделирование элементов микроэлектромеханических устройств : лаб. практикум для студентов напр. 210100.62 «Электроника и наноэлектроника» / Сиб. федерал. ун-т, 2012. - Текст : электронный.Лаб. практикум для студентов напр. 210100.62 «Электроника и наноэлектроника».
Доступ к полному тексту открыт из сети СФУ, вне сети доступ возможен для читателей Научной библиотеки СФУ или за плату.
Аннотация:
В лабораторном практикуме приведены описания лабораторных работ по выполнению компьютерного моделирования элементов микроэлектромеханических устройств в программе MEMS Pro. Изложены краткие сведения о функциональных возможностях MEMS Pro, представлена методика выполнения лабораторных работ. Предназначено: по кодификатору ГОС ВПО-2 для специальности 210108.65 «Микросистемная техника» и направления подготовки бакалавров 210100.62 «Электроника и микроэлектроника»; по кодификатору ФГОС ВПО-3 для направления подготовки бакалавров 210100.62 «Электроника и наноэлектроника». Рекомендуется для всех специальностей и направлений укрупненных групп 210000 «Электронная техника, радиотехника и связь» и 200000 «Приборостроение и оптотехника».
Права на использование:
Для личного использования.