Проектирование микросистем. Моделирование элементов микроэлектромеханических устройств
View/
Full Text on Another Site
URI (for links/citations):
Compiler:
Левицкий, Алексей Александрович
Липунова, Анна Александровна
Corporate Contributor:
Сибирский федеральный университет
Date:
2012Bibliographic Citation:
Проектирование микросистем. Моделирование элементов микроэлектромеханических устройств : лаб. практикум для студентов напр. 210100.62 «Электроника и наноэлектроника» / Сиб. федерал. ун-т, 2012. - Текст : электронный.Лаб. практикум для студентов напр. 210100.62 «Электроника и наноэлектроника».
Доступ к полному тексту открыт из сети СФУ, вне сети доступ возможен для читателей Научной библиотеки СФУ или за плату.
Abstract:
В лабораторном практикуме приведены описания лабораторных работ по выполнению компьютерного моделирования элементов микроэлектромеханических устройств в программе MEMS Pro. Изложены краткие сведения о функциональных возможностях MEMS Pro, представлена методика выполнения лабораторных работ. Предназначено: по кодификатору ГОС ВПО-2 для специальности 210108.65 «Микросистемная техника» и направления подготовки бакалавров 210100.62 «Электроника и микроэлектроника»; по кодификатору ФГОС ВПО-3 для направления подготовки бакалавров 210100.62 «Электроника и наноэлектроника». Рекомендуется для всех специальностей и направлений укрупненных групп 210000 «Электронная техника, радиотехника и связь» и 200000 «Приборостроение и оптотехника».
Rights:
Для личного использования.