Показать сокращенную информацию
Развитие технологии получения и исследования пористого кремния
Автор | Юзова, В.А. | ru |
Автор | Yuzova, Vera A. | en |
Автор | Левицкий, А.А. | ru |
Автор | Levitsky, Alexsandr A. | en |
Автор | Харлашин, П.А. | ru |
Автор | Harlashin, Pavel A. | en |
Дата внесения | 2011-03-19T04:51:08Z | |
Дата, когда ресурс стал доступен | 2011-03-19T04:51:08Z | |
Дата публикации | 2011-02 | en |
URI (для ссылок/цитирований) | https://elib.sfu-kras.ru/handle/2311/2279 | |
Аннотация | Работа представляет собой обзор исследований, проведенных в рамках Федеральной целевой программы «Интеграция науки и высшего образования России» студентами и аспирантами под совместным научным руководством преподавателей кафедры «Приборостроение и наноэлектроника» и сотрудников института физики СО РАН в области одного из актуальных технологических направлений микро- и наноэлектроники - развитии технологии получения пористого кремния. Цель данных исследований состоит в разработке кремниевых материалов и структур, обладающих новыми стабильными свойствами, которые в ближайшем будущем позволят значительно расширить диапазон параметров существующих устройств современной микроэлектроники и будут способствовать созданию оригинальных приборов. | ru |
Аннотация | Work represents the review of the researches spent within the limits of the Federal target program «Integration of a science and higher education of Russia» students and post-graduate students under a joint scientific management of teachers «Device designs and a nanoelectronics» department and employees of institute of physics of the Siberian Branch of the Russian Academy of Science in the field of actual technological directions micro- and nanoelectronics - development creation of porous silicon technology. The purpose of the given researches consists in working out of silicon materials and the structures possessing new stable properties which will allow to expand in the near future considerably a range of existing devices properties for modern microelectronics and which will promote creation of original devices. | en |
Язык | ru | en |
Издатель | Сибирский федеральный университет. Siberian Federal University. | en |
Является частью серии | 2011 4 ( 1 ) | en |
Является частью серии | Журнал Сибирского федерального университета. Техника и технологии. Journal of Siberian Federal University. Engineering & Technologies. | en |
Тема | пористый кремний | ru |
Тема | кремниевые структуры | ru |
Тема | кремниевые технологии | ru |
Тема | микро- и наноэлектроника | ru |
Тема | porous silicon | en |
Тема | silicon structures | en |
Тема | silicon technology | en |
Тема | micro- and nanoelectronics | en |
Название | Развитие технологии получения и исследования пористого кремния | ru |
Альтернативное название | Development Technology of Creation and Research Porous Silicon | en |
Тип | Journal Article | |
Тип | Published Journal Article | |
Контакты автора | Юзова, В.А. : Сибирский федеральный университет , Россия 660041, Красноярск, пр. Свободный, 79 | ru |
Контакты автора | Yuzova, Vera A. : Siberian Federal University , 79 Svobodny, Krasnoyarsk 660041 Russia | en |
Контакты автора | Левицкий, А.А. : Сибирский федеральный университет , Россия 660041, Красноярск, пр. Свободный, 79 | ru |
Контакты автора | Levitsky, Alexsandr A. : Siberian Federal University , 79 Svobodny, Krasnoyarsk 660041 Russia | en |
Контакты автора | Харлашин, П.А. : Сибирский федеральный университет , Россия 660041, Красноярск, пр. Свободный, 79 , e-mail: HaPa77@mail.ru | ru |
Контакты автора | Harlashin, Pavel A. : Siberian Federal University , 79 Svobodny, Krasnoyarsk 660041 Russia , e-mail: HaPa77@mail.ru | en |
Страницы | 92-112 | en |