Forming Porous Structures on Silicon with a Ferroelectric for Capacitive Microelectronic and Microsystems Engineering Elements

Semenova, O. V.; Railko, M. Yu.; Patrusheva, T. N.; Merkushev, F. F.; Podorozhyak, S. A.; Yuzova, V. A.; Korets, A. Ya.; Khol’Kin, A. I.

doi:10.1134/S0040579518050238

Автор:

Semenova, O. V.

Railko, M. Yu.

Patrusheva, T. N.

Merkushev, F. F.

Podorozhyak, S. A.

Yuzova, V. A.

Korets, A. Ya.

Khol’Kin, A. I.

Коллективный автор:

Институт инженерной физики и радиоэлектроники

Кафедра физики

Кафедра приборостроения и наноэлектроники

Дата:

2018

Журнал:

Theoretical Foundations of Chemical Engineering

Квартиль журнала в Scopus:

Квартиль журнала в Web of Science:

Библиографическое описание:

Semenova, O. V. Forming Porous Structures on Silicon with a Ferroelectric for Capacitive Microelectronic and Microsystems Engineering Elements [Текст] / O. V. Semenova, M. Yu. Railko, T. N. Patrusheva, F. F. Merkushev, S. A. Podorozhyak, V. A. Yuzova, A. Ya. Korets, A. I. Khol’Kin // Theoretical Foundations of Chemical Engineering. — 2018. — Vol. 52 (No. 5). — С. 886-891

Текст статьи не публикуется в открытом доступе в соответствии с политикой журнала.

Аннотация:

The formation of heterostructures based on porous silicon with barium titanate for application in capacitive electronic and microsystem engineering elements has been experimentally investigated. The dependences of the capacitance and permittivity on the porous matrix dimensions, number of deposited barium titanate layers, and material of capacitor structure plates has been analyzed.

Коллекции:

Статьи в научных журналах (эффективный контракт) [5211]

Метаданные:

Показать полную информацию

Показаны похожие ресурсы по названию, автору или тематике.

Разработка пористых структур на кремнии

Сакун, Е.А.; Sakun, Elena A.; Полюшкевич, А.В.; Polyushkevich, Anna V.; Харлашин, П.А.; Harlashin, Pavel A.; Семенова, О.В.; Semenova, Olga V.; Корец, А.Я.; Korets, Anatoly Ya. (Сибирский федеральный университет. Siberian Federal University., 2010-12)

В данной работе приводится обзор экспериментальных исследований кремниевых пористых структур, полученных методом электрохимического анодирования монокристаллического кремния в растворе плавиковой кислоты. Изложены результаты ...
Развитие технологии получения и исследования пористого кремния

Юзова, В.А.; Yuzova, Vera A.; Левицкий, А.А.; Levitsky, Alexsandr A.; Харлашин, П.А.; Harlashin, Pavel A. (Сибирский федеральный университет. Siberian Federal University., 2011-02)

Работа представляет собой обзор исследований, проведенных в рамках Федеральной целевой программы «Интеграция науки и высшего образования России» студентами и аспирантами под совместным научным руководством преподавателей ...
Diagnostics of Escherichia coli Using Fabry-Perot Interference in Silicon Nanostructures of Various Morphologies

Wang, Mengyuan; Rachishe, Polina A.; Nazarovskaia, Daria A.; Domnin, Pavel A.; Tsiniaikin, Ilia I.; Efimova, Aleksandra I.; Ermolaeva, Svetlana A.; Osminkina, Liubov A.; Gonchar, Kirill A.; Ван, Мэнюань; Рачишена, Полина А.; Назаровская, Дарья А.; Домнин, Павел А.; Циняйкин, Илья И.; Ефимова, Александра И.; Ермолаева, Светлана А.; Осминкина, Любовь А.; Гончар, Кирилл А. (Journal of Siberian Federal University. Сибирский федеральный университет, 2024-12)

This paper explores the potential for diagnosing bacterial presence in biological fluids using Fabry–Perot interference in silicon nanostructures with different morphologies. It compares the bacterial detection capabilities ...
Разработка технологии формирования многокомпонентных приборных композиций на основе пористого кремния

Zubko, Eugene I.; Зубко, Е.И.; Shvets, Evgenii Y.; Швец, Е.Я. (Сибирский федеральный университет. Siberian Federal University., 2013-07)

Development of semi-conductor electronics is closely connected with search of new materials. Multicomponent electronic instrument compositions concern such materials on the basis of porous silicon. One of which kinds are ...
Optical Properties of Porous Silicon Structures with Nanophase Diamond Films

Семенова, О. В.; Меркушев, Ф. Ф.; Раилко, М. Ю.; Подорожняк, С. А.; Патрушева, Т. Н.; Корец, А. Я.; Холькин, А. И. (2015-10)

Structures are obtained on porous silicon with nanophase diamond films. The effect of the nanophase diamond film thickness on the refractive index of these structures is studied