Iron silicides formation on Si (100) and (111) surfaces through theoretical modeling of sputtering and annealing

Скачать файл:
DOI:
10.1016/j.apsusc.2020.146736
URI (для ссылок/цитирований):
https://www.sciencedirect.com/science/article/abs/pii/S0169433220314938
https://elib.sfu-kras.ru/handle/2311/142511
Автор:
Chepkasov, I. V.
Baidyshev, V. S.
Sukhanova, E. V.
Visotin, M. A.
Süle, P.
Popov, Z. I.
Коллективный автор:
Институт инженерной физики и радиоэлектроники
Базовая кафедра фотоники и лазерных технологий
Дата:
2020-10
Журнал:
Applied Surface Science
Квартиль журнала в Scopus:
Q1
Квартиль журнала в Web of Science:
Q1
Библиографическое описание:
Chepkasov, I. V. Iron silicides formation on Si (100) and (111) surfaces through theoretical modeling of sputtering and annealing [Текст] / I. V. Chepkasov, V. S. Baidyshev, E. V. Sukhanova, M. A. Visotin, P. Süle, Z. I. Popov // Applied Surface Science. — 2020. — Т. 527. — С. 146736

Текст статьи не публикуется в открытом доступе в соответствии с политикой журнала.
Коллекции:
Метаданные:
Показать полную информацию