Показать сокращенную информацию
Iron silicides formation on Si (100) and (111) surfaces through theoretical modeling of sputtering and annealing
Автор | Chepkasov, I. V. | |
Автор | Baidyshev, V. S. | |
Автор | Sukhanova, E. V. | |
Автор | Visotin, M. A. | |
Автор | Süle, P. | |
Автор | Popov, Z. I. | |
Дата внесения | 2021-08-13T09:30:39Z | |
Дата, когда ресурс стал доступен | 2021-08-13T09:30:39Z | |
Дата публикации | 2020-10 | |
Библиографическое описание | Chepkasov, I. V. Iron silicides formation on Si (100) and (111) surfaces through theoretical modeling of sputtering and annealing [Текст] / I. V. Chepkasov, V. S. Baidyshev, E. V. Sukhanova, M. A. Visotin, P. Süle, Z. I. Popov // Applied Surface Science. — 2020. — Т. 527. — С. 146736 | |
ISSN | 01694332 | |
URI (для ссылок/цитирований) | https://www.sciencedirect.com/science/article/abs/pii/S0169433220314938 | |
URI (для ссылок/цитирований) | https://elib.sfu-kras.ru/handle/2311/142511 | |
Описание | Текст статьи не публикуется в открытом доступе в соответствии с политикой журнала. | |
Название | Iron silicides formation on Si (100) and (111) surfaces through theoretical modeling of sputtering and annealing | |
Тип | Journal Article | |
Тип | Published Journal Article | |
Страницы | 146736 | |
Дата обновления | 2021-08-13T09:30:39Z | |
DOI | 10.1016/j.apsusc.2020.146736 | |
Институт | Институт инженерной физики и радиоэлектроники | |
Подразделение | Базовая кафедра фотоники и лазерных технологий | |
Журнал | Applied Surface Science | |
Квартиль журнала в Scopus | Q1 | |
Квартиль журнала в Web of Science | Q1 |