In situ magneto-optical ellipsometry data analysis for films growth control

Maximova O. A; Kosyrev N. N; Varnakov S. N; Lyaschenko, S. A.; Yakovlev, I. A.; Tarasov, I. A.; Shevtsov, D. V.; Maximova, O. M.; Ovchinnikov, S. G.

doi:10.1016/j.jmmm.2016.12.050

Автор:

Maximova O. A

Kosyrev N. N

Varnakov S. N

Lyaschenko, S. A.

Yakovlev, I. A.

Tarasov, I. A.

Shevtsov, D. V.

Maximova, O. M.

Ovchinnikov, S. G.

Коллективный автор:

Институт инженерной физики и радиоэлектроники

Кафедра теоретической физики и волновых явлений

Дата:

2017-10

Журнал:

Journal of Magnetism and Magnetic Materials

Квартиль журнала в Scopus:

Квартиль журнала в Web of Science:

Библиографическое описание:

Maximova O. A. In situ magneto-optical ellipsometry data analysis for films growth control [Текст] / Maximova O. A, Kosyrev N. N, Varnakov S. N, S. A. Lyaschenko, I. A. Yakovlev, I. A. Tarasov, D. V. Shevtsov, O. M. Maximova, S. G. Ovchinnikov // Journal of Magnetism and Magnetic Materials. — 2017.

Коллекции:

Статьи в научных журналах (эффективный контракт) [5211]

Метаданные:

Показать полную информацию