Forming Porous Structures on Silicon with a Ferroelectric for Capacitive Microelectronic and Microsystems Engineering Elements
Скачать файл:
URI (для ссылок/цитирований):
http://www.maik.ru/cgi-bin/journal.pl?name=tfce&page=mainhttps://elib.sfu-kras.ru/handle/2311/110679
Автор:
Semenova, O. V.
Railko, M. Yu.
Patrusheva, T. N.
Merkushev, F. F.
Podorozhyak, S. A.
Yuzova, V. A.
Korets, A. Ya.
Khol’Kin, A. I.
Коллективный автор:
Институт инженерной физики и радиоэлектроники
Кафедра физики
Кафедра приборостроения и наноэлектроники
Дата:
2018Журнал:
Theoretical Foundations of Chemical EngineeringКвартиль журнала в Scopus:
Q3Квартиль журнала в Web of Science:
Q4Библиографическое описание:
Semenova, O. V. Forming Porous Structures on Silicon with a Ferroelectric for Capacitive Microelectronic and Microsystems Engineering Elements [Текст] / O. V. Semenova, M. Yu. Railko, T. N. Patrusheva, F. F. Merkushev, S. A. Podorozhyak, V. A. Yuzova, A. Ya. Korets, A. I. Khol’Kin // Theoretical Foundations of Chemical Engineering. — 2018. — Vol. 52 (No. 5). — С. 886-891Текст статьи не публикуется в открытом доступе в соответствии с политикой журнала.
Аннотация:
The formation of heterostructures based on porous silicon with barium titanate for application in
capacitive electronic and microsystem engineering elements has been experimentally investigated. The
dependences of the capacitance and permittivity on the porous matrix dimensions, number of deposited barium
titanate layers, and material of capacitor structure plates has been analyzed.
Коллекции:
Метаданные:
Показать полную информациюСвязанные материалы
Показаны похожие ресурсы по названию, автору или тематике.
-
Разработка пористых структур на кремнии
Сакун, Е.А.; Sakun, Elena A.; Полюшкевич, А.В.; Polyushkevich, Anna V.; Харлашин, П.А.; Harlashin, Pavel A.; Семенова, О.В.; Semenova, Olga V.; Корец, А.Я.; Korets, Anatoly Ya. (Сибирский федеральный университет. Siberian Federal University., 2010-12)В данной работе приводится обзор экспериментальных исследований кремниевых пористых структур, полученных методом электрохимического анодирования монокристаллического кремния в растворе плавиковой кислоты. Изложены результаты ... -
Развитие технологии получения и исследования пористого кремния
Юзова, В.А.; Yuzova, Vera A.; Левицкий, А.А.; Levitsky, Alexsandr A.; Харлашин, П.А.; Harlashin, Pavel A. (Сибирский федеральный университет. Siberian Federal University., 2011-02)Работа представляет собой обзор исследований, проведенных в рамках Федеральной целевой программы «Интеграция науки и высшего образования России» студентами и аспирантами под совместным научным руководством преподавателей ... -
Разработка технологии формирования многокомпонентных приборных композиций на основе пористого кремния
Zubko, Eugene I.; Зубко, Е.И.; Shvets, Evgenii Y.; Швец, Е.Я. (Сибирский федеральный университет. Siberian Federal University., 2013-07)Development of semi-conductor electronics is closely connected with search of new materials. Multicomponent electronic instrument compositions concern such materials on the basis of porous silicon. One of which kinds are ... -
Optical Properties of Porous Silicon Structures with Nanophase Diamond Films
Семенова, О. В.; Меркушев, Ф. Ф.; Раилко, М. Ю.; Подорожняк, С. А.; Патрушева, Т. Н.; Корец, А. Я.; Холькин, А. И. (2015-10)Structures are obtained on porous silicon with nanophase diamond films. The effect of the nanophase diamond film thickness on the refractive index of these structures is studied -
Numerical simulation of the oil displacement process from a porous medium by nanofluid
Minakov, A. V.; Mikhienkova, E. I.; Pryazhnikov, M. I.; Zhigarev, V. A. (2019-11)Numerical simulation of the oil displacement process from a porous medium by nanofluid was carried out. To describe this process a flow model of two immiscible fluids taking into account the surface tension forces and the ...