Показать сокращенную информацию
Forming Porous Structures on Silicon with a Ferroelectric for Capacitive Microelectronic and Microsystems Engineering Elements
| Автор | Semenova, O. V. | |
| Автор | Railko, M. Yu. | |
| Автор | Patrusheva, T. N. | |
| Автор | Merkushev, F. F. | |
| Автор | Podorozhyak, S. A. | |
| Автор | Yuzova, V. A. | |
| Автор | Korets, A. Ya. | |
| Автор | Khol’Kin, A. I. | |
| Дата внесения | 2019-07-01T07:26:01Z | |
| Дата, когда ресурс стал доступен | 2019-07-01T07:26:01Z | |
| Дата публикации | 2018 | |
| Библиографическое описание | Semenova, O. V. Forming Porous Structures on Silicon with a Ferroelectric for Capacitive Microelectronic and Microsystems Engineering Elements [Текст] / O. V. Semenova, M. Yu. Railko, T. N. Patrusheva, F. F. Merkushev, S. A. Podorozhyak, V. A. Yuzova, A. Ya. Korets, A. I. Khol’Kin // Theoretical Foundations of Chemical Engineering. — 2018. — Vol. 52 (No. 5). — С. 886-891 | |
| ISSN | 00405795 | |
| URI (для ссылок/цитирований) | http://www.maik.ru/cgi-bin/journal.pl?name=tfce&page=main | |
| URI (для ссылок/цитирований) | https://elib.sfu-kras.ru/handle/2311/110679 | |
| Описание | Текст статьи не публикуется в открытом доступе в соответствии с политикой журнала. | |
| Аннотация | The formation of heterostructures based on porous silicon with barium titanate for application in capacitive electronic and microsystem engineering elements has been experimentally investigated. The dependences of the capacitance and permittivity on the porous matrix dimensions, number of deposited barium titanate layers, and material of capacitor structure plates has been analyzed. | |
| Тема | porous structures on silicon | |
| Тема | electrochemical treatment | |
| Тема | ferroelectric | |
| Тема | extraction–pyrolytic | |
| Тема | method | |
| Тема | heterostructures on porous silicon with barium titanate | |
| Название | Forming Porous Structures on Silicon with a Ferroelectric for Capacitive Microelectronic and Microsystems Engineering Elements | |
| Тип | Journal Article | |
| Тип | Journal Article Preprint | |
| Страницы | 886-891 | |
| ГРНТИ | 61.13 | |
| Дата обновления | 2019-07-01T07:26:01Z | |
| DOI | 10.1134/S0040579518050238 | |
| Институт | Институт инженерной физики и радиоэлектроники | |
| Подразделение | Кафедра физики | |
| Подразделение | Кафедра приборостроения и наноэлектроники | |
| Журнал | Theoretical Foundations of Chemical Engineering | |
| Квартиль журнала в Scopus | Q3 | |
| Квартиль журнала в Web of Science | Q4 |
