Растворение кислорода в германии в процессе выращивания монокристаллов

Abstract

Методом ИК-Фурье спектрометрии определено содержание кислорода в монокристаллах германия, выращенных по методу Чохральского. Проведен термодинамический анализ процесса растворения в Ge остаточного кислорода, содержащегося в газовой фазе.

The oxygen content of germanium single crystals grown by the Czochralski method has been determined by the method of Fourier-transform infrared spectroscopy. A thermodynamic analysis of the dissolution process of oxygen in germanium during of crystal growth was carried out.