Элементный анализ тонких CVD покрытий на Si подложке методом ИСП-МС с лазерным микро-пробоотбором
Скачать файл:
URI (для ссылок/цитирований):
https://elib.sfu-kras.ru/handle/2311/9152Автор:
Черноножкин, С. М.
Сапрыкин, А. И.
(ruotsy@gmail.com, saprykin@niic.nsc.ru)