Дата публикации | 2010 | |
Библиографическое описание | Интегральные устройства радиоэлектроники. Технология микросхем и микропроцессоров : лаб. практикум [для напр. подг. бакалавров 210100 «Электроника и наноэлектроника» и 211000 «Конструирование и технология электронных средств» по ФГОС ВПО-3 ] / Сиб. федерал. ун-т, 2010. - Текст : электронный. | |
Описание | Лаб. практикум [для напр. подг. бакалавров 210100 «Электроника и наноэлектроника» и 211000 «Конструирование и технология электронных средств» по ФГОС ВПО-3 ]. | |
Описание | Доступ к полному тексту открыт из сети СФУ, вне сети доступ возможен для читателей Научной библиотеки СФУ или за плату. | |
Аннотация | Рассмотрены общие вопросы технологии изготовления интегральных устройств радиоэлектроники на примере интегральных микросхем (ИМС). Изложены основные технологические операции: получение и измерение параметров вакуума; процессы получения тонких пленок; фотолитографические процессы в технологии интегральных микросхем; технологии разделения пластин на кристаллы и создания соединений ИМС. Большое внимание уделено формированию тонкопленочных элементов, разработке топологии, оформлению конструкторско-технологической документации по изготовлению гибридноинтегральных микросхем. Представленный материал может быть использован для проведения лабораторных и практических занятий, а также в самостоятельной работе студентов для курсового проектирования по дисциплинам: «Интегральные устройства радиоэлектроники», «Технология микросхем и микропроцессоров», «Проектирование элементов микросхем», «Проектирование интегральных микросхем и микропроцессоров». Предназначено для направлений подготовки бакалавров и специалистов 210200 «Проектирование и технология электронных средств» и 210100 «Электроника и микроэлектроника; по кодификатору ФГОС ВПО-3 для направлений подготовки бакалавров 210100 «Электроника и наноэлектроника» и 211000 «Конструирование и технология электронных средств». Рекомендуется для всех специальностей и направлений укрупненных групп 210000 «Электронная техника, радиотехника и связь» и 200000 «Приборостроение и оптотехника». | |
Язык | rus | |
Издатель | СФУ | |
Права на использование | Для личного использования. | |
Тема | микроэлектроника | |
Тема | напыление тонких пленок | |
Тема | фотолитография | |
Тема | технологическая документация по изготовлению ИМС | |
Тема | лабораторные практикумы | |
Тема | учебно-методические пособия | |
Название | Интегральные устройства радиоэлектроники. Технология микросхем и микропроцессоров | |
Тип | Book | |
УДК | 621.396.6(07) | |
Коллективный автор | Сибирский федеральный университет | |
Место издания | Красноярск | |
Полный текст на другом сайте | https://bik.sfu-kras.ru/elib/view?id=BOOK1-621.396%2F%D0%98+730-903675 | |
Шифр в ИРБИС | RU/НБ СФУ/BOOK1/621.396/И 730-903675 | |
Составитель | Фенькова, Нина Борисовна | |
Составитель | Семенова, Ольга Васильевна | |