Дата публикации | 2012 | |
Библиографическое описание | Микроэлектромеханика : лаб. практикум [для напр. подг. бакалавров и специалистов 210200 «Проектирование и технология электронных средств» и 210100 «Электроника и микроэлектроника», спец. 201900 «Микросистемная техника»; для напр. подг. бакалавров 210100 «Электроника и наноэлектроника» и 211000 «Конструирование и технология электронных средств»] / Сиб. федерал. ун-т, 2012. - Текст : электронный. | |
Описание | Лаб. практикум [для напр. подг. бакалавров и специалистов 210200 «Проектирование и технология электронных средств» и 210100 «Электроника и микроэлектроника», спец. 201900 «Микросистемная техника»; для напр. подг. бакалавров 210100 «Электроника и наноэлектроника» и 211000 «Конструирование и технология электронных средств»]. | |
Описание | Доступ к полному тексту открыт из сети СФУ, вне сети доступ возможен для читателей Научной библиотеки СФУ или за плату. | |
Аннотация | В лабораторном практикуме рассмотрены общие вопросы проектирования и технологии изготовления микроэлектромеханических систем (МЭМС). Изложены основные этапы проектирования и технологические операции объемной и поверхностной технологий изготовления МЭМС. Большое внимание уделено интегральным микродатчикам, методики расчета параметров мембран датчиков давления и технологических процессов, использующихся при их изготовлении. Представленный материал может быть использован для проведения лабораторных и практических занятий, а также в самостоятельной работе студентов для курсового проектирования по дисциплинам: «Микроэлектромеханика», «Технология микросхем и микропроцессоров», «Проектирование элементов микросхем», «Проектирование интегральных микросхем и микропроцессоров». Предназначено для направлений подготовки бакалавров и специалистов 210200 «Проектирование и технология электронных средств» и 210100 «Электроника и микроэлектроника», специальности 201900 «Микросистемная техника»; для направлений подготовки бакалавров 210100 – «Электроника и наноэлектроника» и 211000 – «Конструирование и технология электронных средств». Рекомендуется для всех специальностей и направлений укрупненных групп 210000 «Электронная техника, радиотехника и связь» и 200000 «Приборостроение и оптотехника». | |
Язык | rus | |
Издатель | СФУ | |
Права на использование | Для личного использования. | |
Тема | микроэлектроника | |
Тема | проектирование микросхем | |
Тема | интегральные микродатчики | |
Тема | полупроводники | |
Тема | химическое травление | |
Тема | лабораторные практикумы | |
Тема | учебно-методические пособия | |
Название | Микроэлектромеханика | |
Тип | Book | |
УДК | 621.396.6(07) | |
Коллективный автор | Сибирский федеральный университет | |
Место издания | Красноярск | |
Полный текст на другом сайте | https://bik.sfu-kras.ru/elib/view?id=BOOK1-621.396%2F%D0%9C+597-578866 | |
Шифр в ИРБИС | RU/НБ СФУ/BOOK1/621.396/М 597-578866 | |
Составитель | Семенова, Ольга Васильевна | |