Protective Insulating Films and Methods for Their Preparation
Скачать файл:
URI (для ссылок/цитирований):
https://elib.sfu-kras.ru/handle/2311/33197Автор:
Патрушева, Т. Н.
Федяев, В. А.
Снежко, Н. Ю.
Карелина, Л. Е.
Коллективный автор:
Институт инженерной физики и радиоэлектроники
Кафедра приборостроения и наноэлектроники
Дата:
2016Журнал:
Journal of Siberian Federal University.Библиографическое описание:
Патрушева, Т. Н. Protective Insulating Films and Methods for Their Preparation [Текст] / Т. Н. Патрушева, В. А. Федяев, Н. Ю. Снежко, Л. Е. Карелина // Journal of Siberian Federal University.: Engineering & Technologies. — 2016. — Т. 9 (№ 2). — С. 254-267Текст статьи не публикуется в открытом доступе в соответствии с политикой журнала.
Аннотация:
This article describes the materials and methods of applying protective dielectric coatings,
namely polymer and oxide coatings. The results of investigations of oxide coatings ZrO2, and
TiO2, obtained by extraction-pyrolytic method.