Показать сокращенную информацию
Разработка пористых структур на кремнии
Автор | Сакун, Е.А. | ru |
Автор | Sakun, Elena A. | en |
Автор | Полюшкевич, А.В. | ru |
Автор | Polyushkevich, Anna V. | en |
Автор | Харлашин, П.А. | ru |
Автор | Harlashin, Pavel A. | en |
Автор | Семенова, О.В. | ru |
Автор | Semenova, Olga V. | en |
Автор | Корец, А.Я. | ru |
Автор | Korets, Anatoly Ya. | en |
Дата внесения | 2010-11-10T05:47:01Z | |
Дата, когда ресурс стал доступен | 2010-11-10T05:47:01Z | |
Дата публикации | 2010-12 | en |
URI (для ссылок/цитирований) | https://elib.sfu-kras.ru/handle/2311/1857 | |
Аннотация | В данной работе приводится обзор экспериментальных исследований кремниевых пористых структур, полученных методом электрохимического анодирования монокристаллического кремния в растворе плавиковой кислоты. Изложены результаты оптических и магнитных исследований кремниевых пористых структур. Определены условия создания воспроизводимой структуры пористого кремния с равномерно распределенными цилиндрическими порами и стабильными временными характеристиками за счет использования специальной формы катода и электромагнитного излучения в видимой области спектра. Показана возможность создания фотонных структур, аналогичных структурам Брегговского отражателя и Фабри-Перо. | ru |
Аннотация | In this article the review of experimental researches of the porous silicon structures received by electrochemical anodizing method of monocrystal silicon in fluoric acid solution is resulted. Optical and magnetic researches of porous structures are obtained. | en |
Язык | ru | en |
Издатель | Сибирский федеральный университет. Siberian Federal University. | en |
Является частью серии | 2010 3 ( 4 ) | en |
Является частью серии | Журнал Сибирского федерального университета. Техника и технологии. Journal of Siberian Federal University. Engineering & Technologies. | en |
Тема | пористый кремний | ru |
Тема | пористые структуры на кремнии | ru |
Тема | магнитные структуры | ru |
Тема | Porous silicon | en |
Тема | porous structures on silicon | en |
Тема | the microsystem engineering | en |
Название | Разработка пористых структур на кремнии | ru |
Альтернативное название | Development of Porous Structures on Silicon | en |
Тип | Journal Article | |
Тип | Published Journal Article | |
Контакты автора | Сакун, Е.А. : Сибирский федеральный университет , 660041 Россия, Красноярск, пр. Свободный,79 , e-mail: lenochka_sakun88@mail.ru | ru |
Контакты автора | Sakun, Elena A. : Siberian Federal University , 79 Svobodny, Krasnoyarsk 660041 Russia , e-mail: lenochka_sakun88@mail.ru | en |
Контакты автора | Полюшкевич, А.В. : Сибирский федеральный университет , 660041 Россия, Красноярск, пр. Свободный,79 | ru |
Контакты автора | Polyushkevich, Anna V. : Siberian Federal University , 79 Svobodny, Krasnoyarsk 660041 Russia | en |
Контакты автора | Харлашин, П.А. : Сибирский федеральный университет , 660041 Россия, Красноярск, пр. Свободный,79 | ru |
Контакты автора | Harlashin, Pavel A. : Siberian Federal University , 79 Svobodny, Krasnoyarsk 660041 Russia | en |
Контакты автора | Семенова, О.В. : Сибирский федеральный университет , 660041 Россия, Красноярск, пр. Свободный,79 | ru |
Контакты автора | Semenova, Olga V. : Siberian Federal University , 79 Svobodny, Krasnoyarsk 660041 Russia | en |
Контакты автора | Корец, А.Я. : Сибирский федеральный университет , 660041 Россия, Красноярск, пр. Свободный,79 | ru |
Контакты автора | Korets, Anatoly Ya. : Siberian Federal University , 79 Svobodny, Krasnoyarsk 660041 Russia | en |
Страницы | 430-443 | en |