Development and Applications of MEMS Components
View/ Open:
URI (for links/citations):
https://elib.sfu-kras.ru/handle/2311/16837Author:
Levitskiy, Alexey A.
Marinushkin, Pavel S.
Левицкий, А.А.
Маринушкин, П.С.
Date:
2015-05Abstract:
This article provides the results of the MEMS (MicroElectroMechanical Systems) components studies.
The design considerations and manufacturing techniques of the silicon-based MEMS components
are considered. Results of the experimental characterization of the fabricated prototypes are
provided. Furthermore, discussion related to the future development of the MEMS components is also
presented Представлены результаты исследований, связанных с созданием компонентов
микроэлектромеханических систем (МЭМС). Рассмотрены конструктивные варианты
и технологии изготовления компонентов МЭМС на базе кремниевых микроструктур.
Обсуждаются результаты исследований экспериментальных образцов. Рассмотрены пути
дальнейшего развития исследований по созданию перспективных компонентов МЭМС