Оценивание влияния параметров металлизации на рабочие характеристики компонентов на поверхностных акустических волнах
Author:
Маринушкин, П. С.
Левицкий, А. А.
Фадеев, В. О.
Marinushkin, Pavel S.
Levitskiy, Alexey A.
Fadeev, Vyacheslav O.
Date:
2024-02Journal Name:
Журнал Сибирского федерального университета. 2024 17(1). Journal of Siberian Federal University. Engineering & Technologies. 2024 17(1)Abstract:
Представлены результаты исследования влияния параметров электродной структуры
встречно‑штыревых преобразователей на основные характеристики поверхностных акустических
волн (ПАВ) в подложках ниобата лития YZ‑среза. В результате численного анализа получены
оценки влияния коэффициента металлизации и относительной толщины металлизации на величину
эффективной скорости волны и коэффициент отражения. Полученные результаты могут быть
использованы для оптимизации конструкций акустоэлектронных компонентов на ПАВ The results of studying the influence of the interdigital transducers electrode structure
parameters on the main characteristics of surface acoustic waves (SAW) in YZ‑cut lithium niobate
substrates are presented. As a result of numerical analysis, estimates of the influence of the metallization
coefficient and the relative thickness of metallization on the value of the effective wave velocity and
reflection coefficient were obtained. The results received can be used to optimize the design of SAW‑based
acoustoelectronic components