Автоматизированная система управления установкой выращивания монокристаллического кремния методом Чохральского.

Abstract

Цель данной работы заключается в обеспечение управления процессом выращивания монокристаллов в автоматизированном режиме с использованием программного имитатора технологического процесса. Для выполнения работы была произведена разработка АСУ блока насосной системы, печи Чохральского и функциональная схема автоматизации, а также создание математической модели в пакете Simulink и создание SCADA-системы.