Аппараты полупроводникового производства
Скачать файл:
Полный текст на другом сайтеURI (для ссылок/цитирований):
Составитель:
Еромасов, Роман Георгиевич
Кравцова, Елена Дагриевна
Спектор, Юрий Ефимович
Коллективный автор:
Сибирский федеральный университет
Институт цветных металлов и материаловедения
Дата:
2015Библиографическое описание:
Аппараты полупроводникового производства : учебно-методический комплекс [для студентов по напр. 150100.62 «Металлургия», профиля 150400.62.00.08 «Порошковая металлургия, композиционные материалы, покрытия»] / Сиб. федер. ун-т, Ин-т цвет. металлов и материаловедения, 2015 (Введено оглавление). - Текст : электронный.Учебно-методический комплекс [для студентов по напр. 150100.62 «Металлургия», профиля 150400.62.00.08 «Порошковая металлургия, композиционные материалы, покрытия»].
Доступ к полному тексту открыт из сети СФУ, вне сети доступ возможен для читателей Научной библиотеки СФУ или за плату.
Аннотация:
Учебно-методический комплекс дисциплины предназначен для подготовки студентов, обучающихся по направлению 150100.62 «Металлургия», профиля 150400.62.00.08 «Порошковая металлургия, композиционные материалы, покрытия».
Права на использование:
Для личного использования.