Чувствительность дисперсионных характеристик акустических волн в слоистой структуре «Me/ZnO/Me/алмаз» от толщины металлических слоев
Скачать файл:
URI (для ссылок/цитирований):
https://elibrary.ru/item.asp?id=32451283https://elib.sfu-kras.ru/handle/2311/111015
Автор:
Бурков, Сергей Иванович
Золотова О.П
Турчин, П. П.
Рычков, И. М.
Коллективный автор:
Институт инженерной физики и радиоэлектроники
Базовая кафедра физики твердого тела и нанотехнологий
Дата:
2017-12Журнал:
УЧЕНЫЕ ЗАПИСКИ ФИЗИЧЕСКОГО ФАКУЛЬТЕТА МОСКОВСКОГО УНИВЕРСИТЕТАБиблиографическое описание:
Бурков, Сергей Иванович. Чувствительность дисперсионных характеристик акустических волн в слоистой структуре «Me/ZnO/Me/алмаз» от толщины металлических слоев [Текст] / Сергей Иванович Бурков, Золотова О.П, П. П. Турчин, И. М. Рычков // УЧЕНЫЕ ЗАПИСКИ ФИЗИЧЕСКОГО ФАКУЛЬТЕТА МОСКОВСКОГО УНИВЕРСИТЕТА. — 2017. — № 5. — С. 1750402-4Текст статьи не публикуется в открытом доступе в соответствии с политикой журнала.
Аннотация:
В настоящей работе было выполнено исследование влияния массовой нагрузки в виде двух металлических слоев (верхний и нижний электрод) на изменение фазовой скорости дисперсионных мод упругой волны в пьезоэлектрической слоистой структуре «Me/ZnO/Me/алмаз». Проанализированы зависимости этого изменения от отношения h × f (частота × толщина пьезоэлектрика) и отношения d/h (толщина металла/толщина пьезоэлектрика). В качестве материала металлических слоев рассматриваются алюминий (Al), молибден (Mo), платина (Pt).