К вопросу о безопасности работы на предприятиях микроэлектроники

Abstract

Изготовление микроэлектронных приборов относится к высокотехнологичным производствам, основанным на получении тонких пленок металлов, диэлектриков и полупроводников. В статье рассмотрены методы получения тонких пленок, необходимых для изготовления приборов микроэлектроники. С точки зрения экологической безопасности значительный вред здоровью персонала и окружающей среде наносят химические реактивы, используемые в процессах роста пленок, особенно галогенсодержащие вещества, а также газообразные реактивы. Использование сложного вакуумного оборудования требует повышенного внимания и высокой квалификации персонала предприятий. Развитие микро- и наноэлектроники и расширение круга новых функциональных материалов, в частности сложнооксидных, диктует необходимость перехода на новые технологии. Нанотехнологии диктуют новые технологические подходы, в частности развитие растворных методов изготовления тонких пленок, для которых необходимо разработать комплексные системы безопасности.