Показать сокращенную информацию
Элементный анализ тонких CVD покрытий на Si подложке методом ИСП-МС с лазерным микро-пробоотбором
| Автор | Черноножкин, С. М. | ru_RU |
| Автор | Сапрыкин, А. И. | ru_RU |
| Дата внесения | 2013-01-28T09:49:35Z | |
| Дата внесения | 2017-07-06T09:01:33Z | |
| Дата, когда ресурс стал доступен | 2013-01-28T09:49:35Z | |
| Дата, когда ресурс стал доступен | 2017-07-06T09:01:33Z | |
| Дата публикации | 2012-10-08 | ru_RU |
| Библиографическое описание | Черноножкин, С. М. Элементный анализ тонких CVD покрытий на Si подложке методом ИСП-МС с лазерным микро-пробоотбором / С. М. Черноножкин, А. И. Сапрыкин // IX Научная конференция «Аналитика Сибири и Дальнего Востока», сборник материалов [Электронный ресурс]. — Красноярск: Сибирский федеральный ун-т, 2011. — Режим доступа: http://conf.sfu-kras.ru/conf/asfe12/report?memb_id=4515, свободный. | ru_RU |
| URI (для ссылок/цитирований) | https://elib.sfu-kras.ru/handle/2311/9152 | |
| Издатель | Сибирский федеральный университет | ru |
| Источник | IX Научная конференция «Аналитика Сибири и Дальнего Востока», Секция «Спектрометрические методы» | ru_RU |
| Название | Элементный анализ тонких CVD покрытий на Si подложке методом ИСП-МС с лазерным микро-пробоотбором | ru_RU |
| Тип | Conference Item | |
| Тип | Conference Paper | |
| Контакты автора | ruotsy@gmail.com, saprykin@niic.nsc.ru | ru_RU |
