Микроэлектромеханика

Abstract

В лабораторном практикуме рассмотрены общие вопросы проектирования и технологии изготовления микроэлектромеханических систем (МЭМС). Изложены основные этапы проектирования и технологические операции объемной и поверхностной технологий изготовления МЭМС. Большое внимание уделено интегральным микродатчикам, методики расчета параметров мембран датчиков давления и технологических процессов, использующихся при их изготовлении. Представленный материал может быть использован для проведения лабораторных и практических занятий, а также в самостоятельной работе студентов для курсового проектирования по дисциплинам: «Микроэлектромеханика», «Технология микросхем и микропроцессоров», «Проектирование элементов микросхем», «Проектирование интегральных микросхем и микропроцессоров». Предназначено для направлений подготовки бакалавров и специалистов 210200 «Проектирование и технология электронных средств» и 210100 «Электроника и микроэлектроника», специальности 201900 «Микросистемная техника»; для направлений подготовки бакалавров 210100 – «Электроника и наноэлектроника» и 211000 – «Конструирование и технология электронных средств». Рекомендуется для всех специальностей и направлений укрупненных групп 210000 «Электронная техника, радиотехника и связь» и 200000 «Приборостроение и оптотехника».