Микроэлектромеханика
View/ Open:
Full Text on Another Site
URI (for links/citations):
Corporate Contributor:
Сибирский федеральный университет
Compiler:
Семенова, Ольга Васильевна
Date:
2012Лаб. практикум [для напр. подг. бакалавров и специалистов 210200 «Проектирование и технология электронных средств» и 210100 «Электроника и микроэлектроника», спец. 201900 «Микросистемная техника»; для напр. подг. бакалавров 210100 «Электроника и наноэлектроника» и 211000 «Конструирование и технология электронных средств»].
Доступ к полному тексту открыт из сети СФУ, вне сети доступ возможен для читателей Научной библиотеки СФУ или за плату.
Abstract:
В лабораторном практикуме рассмотрены общие вопросы проектирования и технологии изготовления микроэлектромеханических систем (МЭМС). Изложены основные этапы проектирования и технологические операции объемной и поверхностной технологий изготовления МЭМС. Большое внимание уделено интегральным микродатчикам, методики расчета параметров мембран датчиков давления и технологических процессов, использующихся при их изготовлении. Представленный материал может быть использован для проведения лабораторных и практических занятий, а также в самостоятельной работе студентов для курсового проектирования по дисциплинам: «Микроэлектромеханика», «Технология микросхем и микропроцессоров», «Проектирование элементов микросхем», «Проектирование интегральных микросхем и микропроцессоров». Предназначено для направлений подготовки бакалавров и специалистов 210200 «Проектирование и технология электронных средств» и 210100 «Электроника и микроэлектроника», специальности 201900 «Микросистемная техника»; для направлений подготовки бакалавров 210100 – «Электроника и наноэлектроника» и 211000 – «Конструирование и технология электронных средств». Рекомендуется для всех специальностей и направлений укрупненных групп 210000 «Электронная техника, радиотехника и связь» и 200000 «Приборостроение и оптотехника».
Rights:
Для личного использования.