• русский
    • English
  • English 
    • русский
    • English
    View Item 
    •   DSpace Home
    • Учебные, научные и прочие издания
    • Учебные и учебно-методические издания
    • View Item
    •   DSpace Home
    • Учебные, научные и прочие издания
    • Учебные и учебно-методические издания
    • View Item
    JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.

    Микроэлектромеханика

    View/Open:
    Full Text on Another Site
    URI (for links/citations):
    http://elib.sfu-kras.ru/handle/2311/60873
    Description on Another Site
    Corporate Contributor:
    Сибирский федеральный университет
    Compiler:
    Семенова, Ольга Васильевна
    Date:
    2012

    Лаб. практикум [для напр. подг. бакалавров и специалистов 210200 «Проектирование и технология электронных средств» и 210100 «Электроника и микроэлектроника», спец. 201900 «Микросистемная техника»; для напр. подг. бакалавров 210100 «Электроника и наноэлектроника» и 211000 «Конструирование и технология электронных средств»].

    Доступ к полному тексту открыт из сети СФУ, вне сети доступ возможен для читателей Научной библиотеки СФУ или за плату.

    Abstract:
    В лабораторном практикуме рассмотрены общие вопросы проектирования и технологии изготовления микроэлектромеханических систем (МЭМС). Изложены основные этапы проектирования и технологические операции объемной и поверхностной технологий изготовления МЭМС. Большое внимание уделено интегральным микродатчикам, методики расчета параметров мембран датчиков давления и технологических процессов, использующихся при их изготовлении. Представленный материал может быть использован для проведения лабораторных и практических занятий, а также в самостоятельной работе студентов для курсового проектирования по дисциплинам: «Микроэлектромеханика», «Технология микросхем и микропроцессоров», «Проектирование элементов микросхем», «Проектирование интегральных микросхем и микропроцессоров». Предназначено для направлений подготовки бакалавров и специалистов 210200 «Проектирование и технология электронных средств» и 210100 «Электроника и микроэлектроника», специальности 201900 «Микросистемная техника»; для направлений подготовки бакалавров 210100 – «Электроника и наноэлектроника» и 211000 – «Конструирование и технология электронных средств». Рекомендуется для всех специальностей и направлений укрупненных групп 210000 «Электронная техника, радиотехника и связь» и 200000 «Приборостроение и оптотехника».
    Rights:

    Для личного использования.

    Collections:
    • Учебные и учебно-методические издания [6669]
    Metadata:
    Show full item record

    DSpace software copyright © 2002-2015  DuraSpace
    Contact Us | Send Feedback
    Theme by 
    @mire NV
     

     


    DSpace software copyright © 2002-2015  DuraSpace
    Contact Us | Send Feedback
    Theme by 
    @mire NV