Show simple item record

Ефремов, Александр В.ru
Efremov, Alexander V.en
Овчинников, Сергей Г.ru
Ovchinnikov, Sergey G.en
Варнаков, Сергей Н.ru
Varnakov, Sergey N.en
Косырев, Николай Н.ru
Kosyrev, Nikolay N.en
2010-03-26T04:16:18Z
2010-03-26T04:16:18Z
2010-02en
http://elib.sfu-kras.ru/handle/2311/1594
Рассматривается задача автоматизированного проектирования системы крепления плеч эллип- сометра, являющегося частью установки молекулярно-лучевой эпитаксии с магнитооптическим эллипсометрическим комплексом. Показана возможность проектирования, управляемого задан- ными ограничивающими условиями. При помощи системы автоматизированного проектирова- ния с использованием математического моделирования была найдена оптимальная форма креп- ления плеч эллипсометра. Было определено ускорение, возникающее при типичных перегрузках камеры, при этом максимальное отклонение луча на приемнике анализатора не превышало до- пустимого для проведения измерений отклонения.ru
Ellipsometer arms mounting is a part of MBE system with magneto-optic ellipsometric complex, for which the automated designing task has been examined. The ability of the limiting conditions driven design has been shown. Using CAD and mathematical modeling the optimal form of ellipsometer mounting arms was found. The acceleration that appears under typical mechanical overloads has been defined, under the condition that the maximum beam deviation of the analyzer did not exceed the admissible deviation for carrying out measurements.en
996804 bytes
application/pdf
ruen
Сибирский федеральный университет. Siberian Federal University.en
2010 3 ( 1 )en
Журнал Сибирского федерального университета. Математика и физика. Journal of Siberian Federal University. Mathematics & Physics.en
CADru
математическое моделированиеru
эллипсометрru
моделирование перегрузокru
метод конечных элементовru
CADen
mathematical modelingen
ellipsometeren
overload modelingen
finite element methoden
Моделирование системы крепления эллипсометра с использованием CADru
Ellipsometer Mounting System Design Using CADen
Journal Article
Published Journal Article
Ефремов, Александр В. : Институт физики им. Л.В.Киренского СО РАН; Академгородок 50, Красноярск, 660036, Россия, e-mail: sabbah@rambler.ruru
Efremov, Alexander V. : ; , e-mail: sabbah@rambler.ruen
Овчинников, Сергей Г. : Институт физики им. Л.В.Киренского СО РАН; Академгородок 50, Красноярск, 660036, Россия,ru
Ovchinnikov, Sergey G. : ; ,en
Варнаков, Сергей Н. : Институт физики им. Л.В.Киренского СО РАН; Академгородок 50, Красноярск, 660036, Россия,ru
Varnakov, Sergey N. : ; ,en
Косырев, Николай Н. : Институт физики им. Л.В.Киренского СО РАН; Академгородок 50, Красноярск, 660036, Россия,ru
Kosyrev, Nikolay N. : ; ,en
118-124en


Files in this item

Thumbnail

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record