Моделирование системы крепления эллипсометра с использованием CAD
View/ Open:
URI (for links/citations):
http://elib.sfu-kras.ru/handle/2311/1594Author:
Ефремов, Александр В.
Efremov, Alexander V.
Овчинников, Сергей Г.
Ovchinnikov, Sergey G.
Варнаков, Сергей Н.
Varnakov, Sergey N.
Косырев, Николай Н.
Kosyrev, Nikolay N.
Date:
2010-02Abstract:
Рассматривается задача автоматизированного проектирования системы крепления плеч эллип-
сометра, являющегося частью установки молекулярно-лучевой эпитаксии с магнитооптическим
эллипсометрическим комплексом. Показана возможность проектирования, управляемого задан-
ными ограничивающими условиями. При помощи системы автоматизированного проектирова-
ния с использованием математического моделирования была найдена оптимальная форма креп-
ления плеч эллипсометра. Было определено ускорение, возникающее при типичных перегрузках
камеры, при этом максимальное отклонение луча на приемнике анализатора не превышало до-
пустимого для проведения измерений отклонения. Ellipsometer arms mounting is a part of MBE system with magneto-optic ellipsometric complex, for which
the automated designing task has been examined. The ability of the limiting conditions driven design has
been shown. Using CAD and mathematical modeling the optimal form of ellipsometer mounting arms
was found. The acceleration that appears under typical mechanical overloads has been defined, under the
condition that the maximum beam deviation of the analyzer did not exceed the admissible deviation for
carrying out measurements.
Collections:
Metadata:
Show full item recordRelated items
Showing items related by title, author, creator and subject.
-
Геометрическое моделирование. Трехмерное моделирование в среде AutoCAD
Мичикова, Н. В.; Сибирский федеральный университет; Институт педагогики, психологии и социологии (СФУ, Красноярск, 2012) -
Геометрическое моделирование. Трехмерное моделирование в среде AutoCAD
Сибирский федеральный университет; Институт педагогики, психологии и социологии; Мичикова, Н. В. (СФУ, Красноярск, 2012) -
Инженерное проектирование в средах CAD. Геометрическое моделирование средствами системы "КОМПАС-3D"
Максимова, Альбина Анатольевна (СФУ, Красноярск, 2016)Описаны структурные возможности и интерфейс системы «КОМПАС- 3D» в области машиностроения. Подробно рассмотрены вопросы трехмерного (3D) и двумерного (2D) параметрического и непараметрического моделирования объектов ... -
Моделирование процессов и объектов в металлургии
Сибирский федеральный университет; Довженко, Николай Николаевич; Довженко, Иван Николаевич; Рудницкий, Эдвард Анатольевич (СФУ, Красноярск, 2012)В учебно-методическом пособии приведены краткие теоретические сведения, порядок и методика проведения практических занятий, охватывающие основные разделы курса «Моделирование процессов и объектов в металлургии». Все работы ... -
Development of Electrical Wiring Automated Design Algorithm
Nikitin, Aleksander S.; Fen, Aleksander M.; Tregubov, Sergey I.; Никитин, А.С.; Фень, А.М.; Трегубов, С.И. (Сибирский федеральный университет. Siberian Federal University., 2014-09)Nowadays, 3D electrical wiring design automation is less covered by EDA&CAD systems, than its other aspects (solid modeling, simulation analysis, printed circuit boards development). This article offers an algorithm of ...