Оценивание влияния параметров металлизации на рабочие характеристики компонентов на поверхностных акустических волнах

Abstract

Представлены результаты исследования влияния параметров электродной структуры встречно‑штыревых преобразователей на основные характеристики поверхностных акустических волн (ПАВ) в подложках ниобата лития YZ‑среза. В результате численного анализа получены оценки влияния коэффициента металлизации и относительной толщины металлизации на величину эффективной скорости волны и коэффициент отражения. Полученные результаты могут быть использованы для оптимизации конструкций акустоэлектронных компонентов на ПАВ

The results of studying the influence of the interdigital transducers electrode structure parameters on the main characteristics of surface acoustic waves (SAW) in YZ‑cut lithium niobate substrates are presented. As a result of numerical analysis, estimates of the influence of the metallization coefficient and the relative thickness of metallization on the value of the effective wave velocity and reflection coefficient were obtained. The results received can be used to optimize the design of SAW‑based acoustoelectronic components