In situ magneto-optical ellipsometry data analysis for films growth control
URI (для ссылок/цитирований):
http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0304885316331122https://elib.sfu-kras.ru/handle/2311/70272
Автор:
Maximova, O. A.
Kosyrev, N. N.
Varnakov, S. N.
Lyaschenko, S. A.
Yakovlev, I. A.
Tarasov, I. A.
Shevtsov, D. V.
Maximova, O. M.
Ovchinnikov, S. G.
Коллективный автор:
Инженерно-строительный институт
Институт фундаментальной биологии и биотехнологии
Кафедра строительных конструкций и управляемых систем
Кафедра водных и наземных экосистем
Дата:
2017-10Журнал:
Journal of Magnetism and Magnetic MaterialsКвартиль журнала в Scopus:
Q1Квартиль журнала в Web of Science:
Q2Библиографическое описание:
Maximova, O. A. In situ magneto-optical ellipsometry data analysis for films growth control [Текст] / O. A. Maximova, N. N. Kosyrev, S. N. Varnakov, S. A. Lyaschenko, I. A. Yakovlev, I. A. Tarasov, D. V. Shevtsov, O. M. Maximova, S. G. Ovchinnikov // Journal of Magnetism and Magnetic Materials. — 2017. — № 440. — С. 196-198Аннотация:
In this work we present the way of ferromagnetic films study by means of magneto-ellipsometry. The method of
interpretation of in situ magneto-optical ellipsometry spectra for real time growth control is described. The
method has been successfully tested on Si/SiO /F2 e films within the model of a homogeneous semi-infinite
medium. As a result, the dielectric tensor components for Fe layer were calculated using a developed approach.