Si/Fe flux ratio influence on growth and physical properties of polycrystalline β-FeSi2 thin films on Si(100) surface
Скачать файл:
Автор:
Tarasov, I. A.
Visotin, M. A.
Aleksandrovsky, A. S.
Kosyrev, N. N.
Yakovlev, I. A.
Molokeev, M. S.
Lukyanenko, A. V.
Krylov, A. S.
Fedorov, A. S.
Varnakov, S. N.
Ovchinnikov, S. G.
Коллективный автор:
Институт инженерной физики и радиоэлектроники
Кафедра теоретической физики и волновых явлений
Базовая кафедра физики твердого тела и нанотехнологий
Институт нанотехнологий, спектроскопии и квантовой химии