Аппараты полупроводникового производства
Скачать файл:
Полный текст на другом сайтеURI (для ссылок/цитирований):
Составитель:
Кравцова, Елена Дагриевна
Никифорова, Элеонора Михайловна
Коллективный автор:
Сибирский федеральный университет
Дата:
2010Методические указания к практическим работам.
Доступ к полному тексту открыт из сети СФУ, вне сети доступ возможен для читателей Научной библиотеки СФУ или за плату.
Аннотация:
Представлены методики расчета конструктивных параметров и технологических режимов работы оборудования, используемого в технологических процессах получения полупроводниковых материалов. Для студентов специальности 150108.65 «Порошковая металлургия, композиционные материалы, покрытия».
Права на использование:
Для личного использования.