Показать сокращенную информацию

Maximova, O. A.
Kosyrev, N. N.
Varnakov, S. N.
Lyaschenko, S. A.
Yakovlev, I. A.
Tarasov, I. A.
Shevtsov, D. V.
Maximova, O. M.
Ovchinnikov, S. G.
2018-02-07T07:34:28Z
2018-02-07T07:34:28Z
2017-10
Maximova, O. A. In situ magneto-optical ellipsometry data analysis for films growth control [Текст] / O. A. Maximova, N. N. Kosyrev, S. N. Varnakov, S. A. Lyaschenko, I. A. Yakovlev, I. A. Tarasov, D. V. Shevtsov, O. M. Maximova, S. G. Ovchinnikov // Journal of Magnetism and Magnetic Materials. — 2017. — № 440. — С. 196-198
03048853
http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0304885316331122
https://elib.sfu-kras.ru/handle/2311/70272
In this work we present the way of ferromagnetic films study by means of magneto-ellipsometry. The method of interpretation of in situ magneto-optical ellipsometry spectra for real time growth control is described. The method has been successfully tested on Si/SiO /F2 e films within the model of a homogeneous semi-infinite medium. As a result, the dielectric tensor components for Fe layer were calculated using a developed approach.
In situ magneto-optical ellipsometry data analysis for films growth control
Journal Article
Journal Article Preprint
196-198
29.19.16
2018-02-07T07:34:28Z
10.1016/j.jmmm.2016.12.050
Инженерно-строительный институт
Институт фундаментальной биологии и биотехнологии
Кафедра строительных конструкций и управляемых систем
Кафедра водных и наземных экосистем
Journal of Magnetism and Magnetic Materials
Q1
Q2


Файлы в этом документе

Thumbnail

Данный элемент включен в следующие коллекции

Показать сокращенную информацию