Показать сокращенную информацию
In situ magneto-optical ellipsometry data analysis for films growth control
Автор | Maximova, O. A. | |
Автор | Kosyrev, N. N. | |
Автор | Varnakov, S. N. | |
Автор | Lyaschenko, S. A. | |
Автор | Yakovlev, I. A. | |
Автор | Tarasov, I. A. | |
Автор | Shevtsov, D. V. | |
Автор | Maximova, O. M. | |
Автор | Ovchinnikov, S. G. | |
Дата внесения | 2018-02-07T07:34:28Z | |
Дата, когда ресурс стал доступен | 2018-02-07T07:34:28Z | |
Дата публикации | 2017-10 | |
Библиографическое описание | Maximova, O. A. In situ magneto-optical ellipsometry data analysis for films growth control [Текст] / O. A. Maximova, N. N. Kosyrev, S. N. Varnakov, S. A. Lyaschenko, I. A. Yakovlev, I. A. Tarasov, D. V. Shevtsov, O. M. Maximova, S. G. Ovchinnikov // Journal of Magnetism and Magnetic Materials. — 2017. — № 440. — С. 196-198 | |
ISSN | 03048853 | |
URI (для ссылок/цитирований) | http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0304885316331122 | |
URI (для ссылок/цитирований) | https://elib.sfu-kras.ru/handle/2311/70272 | |
Аннотация | In this work we present the way of ferromagnetic films study by means of magneto-ellipsometry. The method of interpretation of in situ magneto-optical ellipsometry spectra for real time growth control is described. The method has been successfully tested on Si/SiO /F2 e films within the model of a homogeneous semi-infinite medium. As a result, the dielectric tensor components for Fe layer were calculated using a developed approach. | |
Название | In situ magneto-optical ellipsometry data analysis for films growth control | |
Тип | Journal Article | |
Тип | Journal Article Preprint | |
Страницы | 196-198 | |
ГРНТИ | 29.19.16 | |
Дата обновления | 2018-02-07T07:34:28Z | |
DOI | 10.1016/j.jmmm.2016.12.050 | |
Институт | Инженерно-строительный институт | |
Институт | Институт фундаментальной биологии и биотехнологии | |
Подразделение | Кафедра строительных конструкций и управляемых систем | |
Подразделение | Кафедра водных и наземных экосистем | |
Журнал | Journal of Magnetism and Magnetic Materials | |
Квартиль журнала в Scopus | Q1 | |
Квартиль журнала в Web of Science | Q2 |