Show simple item record

Шиманский, Александр Федорович
Подкопаев, Олег Иванович
Павлюк, Татьяна Олеговна
Городищева, Анна Николаевна
Филатов, Роман Андреевич
2018-02-07T07:28:15Z
2018-02-07T07:28:15Z
2016
Шиманский, Александр Федорович. ВЛИЯНИЕ ОТЖИГА НА ПОВЕДЕНИЕ КИСЛОРОДА В МОНОКРИСТАЛЛАХ ГЕРМАНИЯ [Текст] / Александр Федорович Шиманский, Олег Иванович Подкопаев, Татьяна Олеговна Павлюк, Анна Николаевна Городищева, Роман Андреевич Филатов // Вестник Сибирского государственного аэрокосмического университета имени академика М.В. Решетнева. — 2016. — Т. 17 (№ 2). — С. 502-507
https://vestnik.sibsau.ru/arhiv/
http://elib.sfu-kras.ru/handle/2311/69781
Текст статьи не публикуется в открытом доступе в соответствии с политикой журнала.
Производство полупроводникового германия вносит вклад в развитие аэрокосмического приборостроения. Бездислокационные монокристаллы германия используются для создания эффективных фотопреобразователей космического базирования. Кристаллы с предельно низким содержанием примесей и дефектов находят применение для изготовления цифровых устройств в распределенных системах электропитания бортовой аппаратуры ракетно-космической техники. Одной из основных примесей в германии, определяющей структурное совершенство и свойства монокристаллов, является кислород. Предметом настоящей работы является анализ влияния отжига кристаллов германия на поведение растворенного в них кислорода. Исследование примеси кислорода в монокристаллах проведено методом ИК-спектрометрии. По величине оптической плотности в максимуме полосы поглощения в ИК-спектре на волновом числе 843,0 см−1 определена концентрация кислорода в кристаллах Ge, которая изменяется от 0,2•1016 до 1,3•1016 см−3 в зависимости от их качества. Изучено влияние отжига в интервале температуры 350–450°С на поведение растворенного в германии кислорода. Установлено, что после отжига в среде с парциальным давлением кислорода от 103 до 1 Па увеличивается его концентрация в кристаллах, и максимум кислородной полосы смещается с волнового числа 843 на 856 см–1. Отжиг при более низком приводит к уменьшению интенсивности кислородной полосы 843 см–1 вследствие образования термодоноров на основе растворенного междоузельного кислорода. Результаты проведенных исследований могут быть использованы в технологии полупроводникового германия для получения монокристаллов с заранее заданными содержанием, формой присутствия кислорода и контролируемыми посредством этого свойствами.
монокристаллический германий
примеси
кислород
ИК-спектрометрия
волновое число
отжиг
термодоноры
ВЛИЯНИЕ ОТЖИГА НА ПОВЕДЕНИЕ КИСЛОРОДА В МОНОКРИСТАЛЛАХ ГЕРМАНИЯ
Journal Article
Journal Article Preprint
502-507
31.19.15
2018-02-07T07:28:15Z
Институт цветных металлов и материаловедения
Кафедра композиционных материалов и физико-химии металлургических процессов
Вестник Сибирского государственного аэрокосмического университета имени академика М.В. Решетнева


Files in this item

Thumbnail

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record