| Дата публикации | 2015 | |
| Библиографическое описание | Испытание и диагностика материалов и структур микро- и наноэлектроники. Введение в электронную микроскопию : учеб.-метод. пособие [для студентов напр. подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника»] / Сиб. федер. ун-т, Ин-т инж. физики и радиоэлектроники, 2015. - Текст : электронный. | |
| Описание | Учеб.-метод. пособие [для студентов напр. подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника»]. | |
| Описание | Доступ к полному тексту открыт из сети СФУ, вне сети доступ возможен для читателей Научной библиотеки СФУ или за плату. | |
| Аннотация | Содержит теоретические сведения о методах исследования материалов и структур микро- и наноэлектроники по средствам электронной микроскопии. Предназначено для студентов очной формы обучения направления подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника». | |
| Язык | rus | |
| Издатель | СФУ | |
| Права на использование | Для личного использования. | |
| Тема | физика | |
| Тема | физические основы электроники | |
| Тема | наноэлектроника | |
| Тема | исследование материалов | |
| Тема | электронная микроскопия | |
| Тема | учебно-методические пособия | |
| Название | Испытание и диагностика материалов и структур микро- и наноэлектроники. Введение в электронную микроскопию | |
| Тип | Book | |
| УДК | 537.533.35(07) | |
| Коллективный автор | Сибирский федеральный университет | |
| Место издания | Красноярск | |
| Институт | Институт инженерной физики и радиоэлектроники | |
| Полный текст на другом сайте | https://bik.sfu-kras.ru/elib/view?id=BOOK1-%D0%91%D0%91%D0%9A22.3%2F%D0%98887-947011234 | |
| Шифр в ИРБИС | RU/НБ СФУ/BOOK1/ББК22.3/И887-947011234 | |
| Составитель | Гардымова, Анна Петровна | |
