Испытание и диагностика материалов и структур микро- и наноэлектроники. Введение в электронную микроскопию
Скачать файл:
Полный текст на другом сайтеURI (для ссылок/цитирований):
Составитель:
Гардымова, Анна Петровна
Коллективный автор:
Сибирский федеральный университет
Институт инженерной физики и радиоэлектроники
Дата:
2015Библиографическое описание:
Испытание и диагностика материалов и структур микро- и наноэлектроники. Введение в электронную микроскопию : учеб.-метод. пособие [для студентов напр. подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника»] / Сиб. федер. ун-т, Ин-т инж. физики и радиоэлектроники, 2015. - Текст : электронный.Учеб.-метод. пособие [для студентов напр. подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника»].
Доступ к полному тексту открыт из сети СФУ, вне сети доступ возможен для читателей Научной библиотеки СФУ или за плату.
Аннотация:
Содержит теоретические сведения о методах исследования материалов и структур микро- и наноэлектроники по средствам электронной микроскопии. Предназначено для студентов очной формы обучения направления подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».
Права на использование:
Для личного использования.