| Дата публикации | 2010 | |
| Описание | Методические указания к практическим работам. | |
| Описание | Доступ к полному тексту открыт из сети СФУ, вне сети доступ возможен для читателей Научной библиотеки СФУ или за плату. | |
| Аннотация | Представлены методики расчета конструктивных параметров и технологических режимов работы оборудования, используемого в технологических процессах получения полупроводниковых материалов. Для студентов специальности 150108.65 «Порошковая металлургия, композиционные материалы, покрытия». | |
| Язык | rus | |
| Издатель | Сибирский федеральный университет [СФУ] | |
| Права на использование | Для личного использования. | |
| Тема | полупроводниковые материалы | |
| Тема | полупроводники | |
| Тема | методические указания к практическим занятиям | |
| Название | Аппараты полупроводникового производства | |
| Тип | Book | |
| УДК | 621.38 | |
| Коллективный автор | Сибирский федеральный университет | |
| Место издания | Красноярск | |
| Полный текст на другом сайте | https://bik.sfu-kras.ru/elib/view?id=BOOK1-621.38%2F%D0%90+769-607174 | |
| Шифр в ИРБИС | RU/НБ СФУ/BOOK1/621.38/А 769-607174 | |
| Составитель | Кравцова, Елена Дагриевна | |
| Составитель | Никифорова, Элеонора Михайловна | |
