| Issued Date | 2010 | |
| Description | Методические указания к практическим работам. | |
| Description | Доступ к полному тексту открыт из сети СФУ, вне сети доступ возможен для читателей Научной библиотеки СФУ или за плату. | |
| Abstract | Представлены методики расчета конструктивных параметров и технологических режимов работы оборудования, используемого в технологических процессах получения полупроводниковых материалов. Для студентов специальности 150108.65 «Порошковая металлургия, композиционные материалы, покрытия». | |
| Description on Another Site | http://catalog.sfu-kras.ru/ftext?621.38%2F%D0%90+769-607174 | |
| Language | rus | |
| Publisher | Сибирский федеральный университет [СФУ] | |
| Rights | Для личного использования. | |
| Subject | полупроводниковые материалы | |
| Subject | полупроводники | |
| Subject | методические указания к практическим занятиям | |
| Title | Аппараты полупроводникового производства | |
| Type | Book | |
| UDC | 621.38 | |
| Corporate Contributor | Сибирский федеральный университет | |
| Publisher Location | Красноярск | |
| Full Text on Another Site | http://lib3.sfu-kras.ru/ft/lib2/elib/u621/i-607174.pdf | |
| Identifier in IRBIS | RU/НБ СФУ/BOOK1/621.38/А 769-607174 | |
| Compiler | Кравцова, Елена Дагриевна | |
| Compiler | Никифорова, Элеонора Михайловна | |
