Дата публикации | 2012 | |
Библиографическое описание | Аппараты полупроводникового производства : учеб.-метод. пособие для самост. работы студентов спец. 150108 «Порошковая металлургия, композиционные материалы, покрытия» / Сиб. федерал. ун-т, 2012. - Текст : электронный. | |
Описание | Учеб.-метод. пособие для самост. работы студентов спец. 150108 «Порошковая металлургия, композиционные материалы, покрытия». | |
Описание | Доступ к полному тексту открыт из сети СФУ, вне сети доступ возможен для читателей Научной библиотеки СФУ или за плату. | |
Аннотация | В учебно-методическом пособии приведены многовариантные задания для самостоятельного решения по расчету конструктивных параметров и технологических режимов работы оборудования, используемого в технологических процессах получения полупроводниковых материалов. Предназначено для студентов, обучающихся по направлению «Металлургия», специальность 150108 «Порошковая металлургия, композиционные материалы, покрытия». | |
Язык | rus | |
Издатель | СФУ | |
Права на использование | Для личного использования. | |
Тема | полупроводники | |
Тема | производство полупроводников | |
Тема | учебно-методические пособия | |
Название | Аппараты полупроводникового производства | |
Тип | Book | |
УДК | 621.38:658.3(076) | |
Коллективный автор | Сибирский федеральный университет | |
Место издания | Красноярск | |
Полный текст на другом сайте | https://bik.sfu-kras.ru/elib/view?id=BOOK1-621.38%2F%D0%90769-515419 | |
Шифр в ИРБИС | RU/НБ СФУ/BOOK1/621.38/А769-515419 | |
Составитель | Кравцова, Елена Дагриевна | |
Составитель | Спектор, Юрий Ефимович | |
Составитель | Никифорова, Элеонора Михайловна | |