Показать сокращенную информацию

2012
Аппараты полупроводникового производства : учеб.-метод. пособие для самост. работы студентов спец. 150108 «Порошковая металлургия, композиционные материалы, покрытия» / Сиб. федерал. ун-т, 2012. - Текст : электронный.
Учеб.-метод. пособие для самост. работы студентов спец. 150108 «Порошковая металлургия, композиционные материалы, покрытия».
Доступ к полному тексту открыт из сети СФУ, вне сети доступ возможен для читателей Научной библиотеки СФУ или за плату.
В учебно-методическом пособии приведены многовариантные задания для самостоятельного решения по расчету конструктивных параметров и технологических режимов работы оборудования, используемого в технологических процессах получения полупроводниковых материалов. Предназначено для студентов, обучающихся по направлению «Металлургия», специальность 150108 «Порошковая металлургия, композиционные материалы, покрытия».
rus
СФУ
Для личного использования.
полупроводники
производство полупроводников
учебно-методические пособия
Аппараты полупроводникового производства
Book
621.38:658.3(076)
Сибирский федеральный университет
Красноярск
https://bik.sfu-kras.ru/elib/view?id=BOOK1-621.38%2F%D0%90769-515419
RU/НБ СФУ/BOOK1/621.38/А769-515419
Кравцова, Елена Дагриевна
Спектор, Юрий Ефимович
Никифорова, Элеонора Михайловна


Файлы в этом документе

ФайлРазмерФорматПросмотр

Данный элемент включен в следующие коллекции

Показать сокращенную информацию