Микро- и нанотехнологии
Скачать файл:
Полный текст на другом сайтеURI (для ссылок/цитирований):
Составитель:
Патрушева, Тамара Николаевна
Коллективный автор:
Сибирский федеральный университет
Дата:
2013Библиографическое описание:
Микро- и нанотехнологии : учеб.-метод. пособие [для магистров и аспирантов по курсу «микро- и нанотехнологии»] / Сиб. федерал. ун-т, 2013. - Текст : электронный.Учеб.-метод. пособие [для магистров и аспирантов по курсу «микро- и нанотехнологии»].
Доступ к полному тексту открыт из сети СФУ, вне сети доступ возможен для читателей Научной библиотеки СФУ или за плату.
Аннотация:
В учебно-методическом пособии рассмотрены методы получения наноструктурированных оксидных и металлических пленок из истинных и коллоидных растворов, таких как золь-гель, экстракционно-пиролитический, химический и электрохимические методы металлизации. Представлены особенности методов, порядок формировапния тонких нанопокрытий и методы исследования. Предназначено для студентов Института инженерной физики и радиоэлектроники СФУ, магистрам и аспирантам по курсу «микро- и нанотехнологии», а также инженерам, специалистам и ученым, работающим в области технологии тонких пленок.
Права на использование:
Для личного использования.