Show simple item record

2013
Лаб. практикум [для студентов напр. подг. 210100.68 «Электроника и наноэлектроника» и 211000.68 «Конструирование и технология электронных средств»] .
Доступ к полному тексту открыт из сети СФУ, вне сети доступ возможен для читателей Научной библиотеки СФУ или за плату.
Рассмотрены общие вопросы технологии изготовления интегральных устройств радиоэлектроники на примере интегральных микросхем (ИМС). Изложены основные технологические операции: получение и измерение параметров вакуума; процессы получения тонких пленок; фотолитографические процессы в технологии интегральных микросхем; технологии разделения пластин на кристаллы и создания соединений ИМС. Большое внимание уделено формированию тонкопленочных элементов, разработке топологии, оформлению конструкторско-технологической документации по изготовлению гибридноинтегральных микросхем. Представленный материал может быть использован для проведения лабораторных и практических занятий, а также в самостоятельной работе студентов для курсового проектирования по дисциплинам «Проектирование и технология электронной компонентной базы», «Интегральные устройства радиоэлектроники», «Технология микросхем и микро- процессоров», «Проектирование элементов микросхем», «Проектирование интегральных микросхем и микропроцессоров». Предназначен по кодификатору ГОС ВПО-2 для направлений подготовки бакалавров, специалистов и магистров 210200 «Проектирование и технология электронных средств» и 210100 «Электроника и микроэлектроника; по кодификатору ФГОС ВПО-3 для направлений подготовки бакалавров 210100 «Электроника и наноэлектроника» и 211000 «Конструирование и технология электронных средств». Рекомендуется для всех специальностей и направлений укрупненных групп 210000 «Электронная техника, радиотехника и связь» и 200000 «Приборостроение и оптотехника».
http://catalog.sfu-kras.ru/ftext?621.3%2F%D0%98+730-974281
rus
СФУ
Для личного использования.
напыление тонких пленок
фотолитографические процессы
конструкторско-технологическая документация
интегральные микросхемы
проектирование элементов микросхем
лабораторные практикумы
учебно-методические пособия
Интегральные устройства радиоэлектроники. Технология микросхем и микропроцессоров
Book
621.396.6(07)
Сибирский федеральный университет
Красноярск
http://lib3.sfu-kras.ru/ft/lib2/elib/u62/i-974281.pdf
RU/НБ СФУ/BOOK1/621.3/И 730-974281
Семенова, Ольга Васильевна
Фенькова, Нина Борисовна


Files in this item

FilesSizeFormatView

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record