Интегральные устройства радиоэлектроники. Технология микросхем и микропроцессоров

Abstract

Рассмотрены общие вопросы технологии изготовления интегральных устройств радиоэлектроники на примере интегральных микросхем (ИМС). Изложены основные технологические операции: получение и измерение параметров вакуума; процессы получения тонких пленок; фотолитографические процессы в технологии интегральных микросхем; технологии разделения пластин на кристаллы и создания соединений ИМС. Большое внимание уделено формированию тонкопленочных элементов, разработке топологии, оформлению конструкторско-технологической документации по изготовлению гибридноинтегральных микросхем. Представленный материал может быть использован для проведения лабораторных и практических занятий, а также в самостоятельной работе студентов для курсового проектирования по дисциплинам: «Интегральные устройства радиоэлектроники», «Технология микросхем и микропроцессоров», «Проектирование элементов микросхем», «Проектирование интегральных микросхем и микропроцессоров». Предназначено для направлений подготовки бакалавров и специалистов 210200 «Проектирование и технология электронных средств» и 210100 «Электроника и микроэлектроника; по кодификатору ФГОС ВПО-3 для направлений подготовки бакалавров 210100 «Электроника и наноэлектроника» и 211000 «Конструирование и технология электронных средств». Рекомендуется для всех специальностей и направлений укрупненных групп 210000 «Электронная техника, радиотехника и связь» и 200000 «Приборостроение и оптотехника».