Показать сокращенную информацию

Томилин, Виктор Иванович
Толстихин, Анатолий Константинович
Борисенко, Ирина Геннадьевна
2011
Томилин, Виктор Иванович. Физико-химические основы технологических процессов : учебное пособие / В. И. Томилин, А. К. Толстихин, И. Г. Борисенко, 2011. - 336 с. - Текст : электронный.
978-5-7638-2398-1
Учебное пособие. Версия 1.0.
Доступ к полному тексту открыт из сети СФУ, вне сети доступ возможен для читателей Научной библиотеки СФУ или за плату.
Изложены современные представления о физико-химических основах технологических процессов электроники, особенности термодинамики химических и фазовых равновесий, кинетические характеристики процессов. Рассмотрены процессы зародышеобразования, роста слоев новой фазы, методы проведения термодинамического анализа. Предназначено для студентов направлений подготовки бакалавров и магистров 211000.62, 211000.68. Может быть полезно студентам других специальностей, аспирантам и научным работникам, интересы которых связаны с получением, исследованием и практическим применением новых материалов.
rus
СФУ
Для личного использования.
электроника
технологические процессы электроники
химические равновесия
фазовые равновесия
термодинамика
кинетические характеристики
термодинамический анализ
зародышеобразование
точечные дефекты
эпитаксиальные процессы
кристаллография
кристаллохимия
учебные пособия
Физико-химические основы технологических процессов
Book
621.38(07)
Сибирский федеральный университет
Красноярск
https://bik.sfu-kras.ru/elib/view?id=BOOK1-621.38%2F%D0%A2+564-924658
RU/НБ СФУ/BOOK1/621.38/Т 564-924658


Файлы в этом документе

ФайлРазмерФорматПросмотр

Данный элемент включен в следующие коллекции

Показать сокращенную информацию