Автор | Томилин, Виктор Иванович | |
Автор | Толстихин, Анатолий Константинович | |
Автор | Борисенко, Ирина Геннадьевна | |
Дата публикации | 2011 | |
Библиографическое описание | Томилин, Виктор Иванович. Физико-химические основы технологических процессов : учебное пособие / В. И. Томилин, А. К. Толстихин, И. Г. Борисенко, 2011. - 336 с. - Текст : электронный. | |
ISBN | 978-5-7638-2398-1 | |
Описание | Учебное пособие. Версия 1.0. | |
Описание | Доступ к полному тексту открыт из сети СФУ, вне сети доступ возможен для читателей Научной библиотеки СФУ или за плату. | |
Аннотация | Изложены современные представления о физико-химических основах технологических процессов электроники, особенности термодинамики химических и фазовых равновесий, кинетические характеристики процессов. Рассмотрены процессы зародышеобразования, роста слоев новой фазы, методы проведения термодинамического анализа. Предназначено для студентов направлений подготовки бакалавров и магистров 211000.62, 211000.68. Может быть полезно студентам других специальностей, аспирантам и научным работникам, интересы которых связаны с получением, исследованием и практическим применением новых материалов. | |
Язык | rus | |
Издатель | СФУ | |
Права на использование | Для личного использования. | |
Тема | электроника | |
Тема | технологические процессы электроники | |
Тема | химические равновесия | |
Тема | фазовые равновесия | |
Тема | термодинамика | |
Тема | кинетические характеристики | |
Тема | термодинамический анализ | |
Тема | зародышеобразование | |
Тема | точечные дефекты | |
Тема | эпитаксиальные процессы | |
Тема | кристаллография | |
Тема | кристаллохимия | |
Тема | учебные пособия | |
Название | Физико-химические основы технологических процессов | |
Тип | Book | |
УДК | 621.38(07) | |
Коллективный автор | Сибирский федеральный университет | |
Место издания | Красноярск | |
Полный текст на другом сайте | https://bik.sfu-kras.ru/elib/view?id=BOOK1-621.38%2F%D0%A2+564-924658 | |
Шифр в ИРБИС | RU/НБ СФУ/BOOK1/621.38/Т 564-924658 | |