Show simple item record

Томилин, Виктор Иванович
Толстихин, Анатолий Константинович
Борисенко, Ирина Геннадьевна
2011
978-5-7638-2398-1
Учебное пособие. Версия 1.0.
Доступ к полному тексту открыт из сети СФУ, вне сети доступ возможен для читателей Научной библиотеки СФУ или за плату.
Изложены современные представления о физико-химических основах технологических процессов электроники, особенности термодинамики химических и фазовых равновесий, кинетические характеристики процессов. Рассмотрены процессы зародышеобразования, роста слоев новой фазы, методы проведения термодинамического анализа. Предназначено для студентов направлений подготовки бакалавров и магистров 211000.62, 211000.68. Может быть полезно студентам других специальностей, аспирантам и научным работникам, интересы которых связаны с получением, исследованием и практическим применением новых материалов.
http://catalog.sfu-kras.ru/ftext?621.38%2F%D0%A2+564-924658
rus
СФУ
Для личного использования.
электроника
технологические процессы электроники
химические равновесия
фазовые равновесия
термодинамика
кинетические характеристики
термодинамический анализ
зародышеобразование
точечные дефекты
эпитаксиальные процессы
кристаллография
кристаллохимия
учебные пособия
Физико-химические основы технологических процессов
Book
621.38(07)
Сибирский федеральный университет
Красноярск
http://lib3.sfu-kras.ru/ft/lib2/elib/u62/i-924658.pdf
RU/НБ СФУ/BOOK1/621.38/Т 564-924658


Files in this item

FilesSizeFormatView

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record