| Author | Томилин, Виктор Иванович | |
| Author | Толстихин, Анатолий Константинович | |
| Author | Борисенко, Ирина Геннадьевна | |
| Issued Date | 2011 | |
| ISBN | 978-5-7638-2398-1 | |
| Description | Учебное пособие. Версия 1.0. | |
| Description | Доступ к полному тексту открыт из сети СФУ, вне сети доступ возможен для читателей Научной библиотеки СФУ или за плату. | |
| Abstract | Изложены современные представления о физико-химических основах технологических процессов электроники, особенности термодинамики химических и фазовых равновесий, кинетические характеристики процессов. Рассмотрены процессы зародышеобразования, роста слоев новой фазы, методы проведения термодинамического анализа. Предназначено для студентов направлений подготовки бакалавров и магистров 211000.62, 211000.68. Может быть полезно студентам других специальностей, аспирантам и научным работникам, интересы которых связаны с получением, исследованием и практическим применением новых материалов. | |
| Description on Another Site | http://catalog.sfu-kras.ru/ftext?621.38%2F%D0%A2+564-924658 | |
| Language | rus | |
| Publisher | СФУ | |
| Rights | Для личного использования. | |
| Subject | электроника | |
| Subject | технологические процессы электроники | |
| Subject | химические равновесия | |
| Subject | фазовые равновесия | |
| Subject | термодинамика | |
| Subject | кинетические характеристики | |
| Subject | термодинамический анализ | |
| Subject | зародышеобразование | |
| Subject | точечные дефекты | |
| Subject | эпитаксиальные процессы | |
| Subject | кристаллография | |
| Subject | кристаллохимия | |
| Subject | учебные пособия | |
| Title | Физико-химические основы технологических процессов | |
| Type | Book | |
| UDC | 621.38(07) | |
| Corporate Contributor | Сибирский федеральный университет | |
| Publisher Location | Красноярск | |
| Full Text on Another Site | http://lib3.sfu-kras.ru/ft/lib2/elib/u62/i-924658.pdf | |
| Identifier in IRBIS | RU/НБ СФУ/BOOK1/621.38/Т 564-924658 | |
