Показать сокращенную информацию
Growth simulation and structure analysis of obliquely deposited thin films
Автор | Belyaev, B. A. | |
Автор | Izotov, A. V. | |
Автор | Solovev, P. N. | |
Дата внесения | 2017-06-16T10:28:21Z | |
Дата, когда ресурс стал доступен | 2017-06-16T10:28:21Z | |
Дата публикации | 2016-06 | |
Библиографическое описание | Belyaev, B. A. Growth simulation and structure analysis of obliquely deposited thin films [Текст] / B. A. Belyaev, A. V. Izotov, P. N. Solovev // Russian Physics Journal. — 2016. — Т. 59 (№ 2). — С. 301-307 | |
ISSN | 10648887 | |
URI (для ссылок/цитирований) | https://elib.sfu-kras.ru/handle/2311/33100 | |
Описание | Текст статьи не публикуется в открытом доступе в соответствии с политикой журнала. | |
Аннотация | Based on the Monte Carlo method, a model of growth of thin films prepared by oblique angle deposition of particles is constructed. The morphology of structures synthesized by simulation is analyzed. To study the character of distribution of microstructural elements (columns) in the film plane, the autocorrelation function of the microstructure and the fast Fourier transform are used. It is shown that with increasing angle of particle incidence, the film density monotonically decreases; in this case, anisotropy arises and monotonically increases in the cross sections of columns, and the anisotropy of distribution of columns in the substrate plane also increases. | |
Ссылка на другой сайт | http://link.springer.com/article/10.1007/s11182-016-0771-2 | |
Тема | oblique angle deposition | |
Тема | simulation of film growth | |
Тема | Monte Carlo method | |
Название | Growth simulation and structure analysis of obliquely deposited thin films | |
Тип | Journal Article | |
Тип | Published Journal Article | |
Страницы | 301-307 | |
ГРНТИ | 29.19.22 | |
Дата обновления | 2017-06-16T10:28:21Z | |
DOI | 10.1007/s11182-016-0771-2 | |
Институт | Институт инженерной физики и радиоэлектроники | |
Подразделение | Научно-исследовательская часть | |
Подразделение | Кафедра радиотехники | |
Журнал | Russian Physics Journal | |
Квартиль журнала в Scopus | Q3 | |
Квартиль журнала в Web of Science | Q4 |