Показать сокращенную информацию
Development and Applications of MEMS Components
| Автор | Levitskiy, Alexey A. | en |
| Автор | Marinushkin, Pavel S. | en |
| Автор | Левицкий, А.А. | ru_RU |
| Автор | Маринушкин, П.С. | ru_RU |
| Дата внесения | 2015-06-09T09:19:35Z | |
| Дата, когда ресурс стал доступен | 2015-06-09T09:19:35Z | |
| Дата публикации | 2015-05 | |
| URI (для ссылок/цитирований) | https://elib.sfu-kras.ru/handle/2311/16837 | |
| Аннотация | This article provides the results of the MEMS (MicroElectroMechanical Systems) components studies. The design considerations and manufacturing techniques of the silicon-based MEMS components are considered. Results of the experimental characterization of the fabricated prototypes are provided. Furthermore, discussion related to the future development of the MEMS components is also presented | en |
| Аннотация | Представлены результаты исследований, связанных с созданием компонентов микроэлектромеханических систем (МЭМС). Рассмотрены конструктивные варианты и технологии изготовления компонентов МЭМС на базе кремниевых микроструктур. Обсуждаются результаты исследований экспериментальных образцов. Рассмотрены пути дальнейшего развития исследований по созданию перспективных компонентов МЭМС | ru_RU |
| Язык | en | en |
| Издатель | Сибирский федеральный университет. Siberian Federal University. | en |
| Является частью серии | Журнал Сибирского федерального университета. Техника и технологии. Journal of Siberian Federal University. Engineering & Technologies;2015 8 (3) | en |
| Тема | microelectromechanical systems (MEMS) | en |
| Тема | microelectromechanical resonators | en |
| Тема | SCREAM technology | en |
| Тема | microgyroscopes | en |
| Тема | inertial navigation | en |
| Тема | pedestrian navigation | en |
| Тема | микроэлектромеханические системы (МЭМС) | ru_RU |
| Тема | микроэлектромеханические резонаторы | ru_RU |
| Тема | SCREAM-технология | ru_RU |
| Тема | микрогироскопы | ru_RU |
| Тема | навигация | ru_RU |
| Тема | пешеходная навигация | ru_RU |
| Название | Development and Applications of MEMS Components | en |
| Альтернативное название | Разработка и применение компонентов МЭМС | ru_RU |
| Тип | Journal Article | |
| Тип | Published Journal Article | |
| Контакты автора | Levitskiy, Alexey A.:Siberian Federal University 79 Svobodny, Krasnoyarsk, 660041, Russia; E-mail: ALevitskiy@sfu-kras.ru | en |
| Контакты автора | Marinushkin, Pavel S.:Siberian Federal University 79 Svobodny, Krasnoyarsk, 660041, Russia | en |
| Контакты автора | Левицкий, А.А.:Сибирский федеральный университет Россия, 660041, Красноярск, пр. Свободный, 79 | ru_RU |
| Контакты автора | Маринушкин, П.С.:Сибирский федеральный университет Россия, 660041, Красноярск, пр. Свободный, 79 | ru_RU |
| Страницы | 290-296 |
