Показать сокращенную информацию
Аппараты полупроводникового производства
| Дата публикации | 2015 | |
| Библиографическое описание | Аппараты полупроводникового производства : учебно-методический комплекс [для студентов по напр. 150100.62 «Металлургия», профиля 150400.62.00.08 «Порошковая металлургия, композиционные материалы, покрытия»] / Сиб. федер. ун-т, Ин-т цвет. металлов и материаловедения, 2015 (Введено оглавление). - Текст : электронный. | |
| Описание | Учебно-методический комплекс [для студентов по напр. 150100.62 «Металлургия», профиля 150400.62.00.08 «Порошковая металлургия, композиционные материалы, покрытия»]. | |
| Описание | Доступ к полному тексту открыт из сети СФУ, вне сети доступ возможен для читателей Научной библиотеки СФУ или за плату. | |
| Аннотация | Учебно-методический комплекс дисциплины предназначен для подготовки студентов, обучающихся по направлению 150100.62 «Металлургия», профиля 150400.62.00.08 «Порошковая металлургия, композиционные материалы, покрытия». | |
| Язык | rus | |
| Издатель | СФУ | |
| Права на использование | Для личного использования. | |
| Тема | ПОЛУПРОВОДНИКИ | |
| Тема | КРЕМНИЙ | |
| Тема | ПОЛИКРЕМНИЙ | |
| Тема | ХЛОРСИЛАН | |
| Тема | УМКД - 2015 | |
| Название | Аппараты полупроводникового производства | |
| Тип | Book | |
| УДК | 621.38(075) | |
| Коллективный автор | Сибирский федеральный университет | |
| Место издания | Красноярск | |
| Институт | Институт цветных металлов и материаловедения | |
| Полный текст на другом сайте | https://bik.sfu-kras.ru/elib/view?id=UMKD-621.38%2F%D0%90+769-112224951 | |
| Шифр в ИРБИС | RU/НБ СФУ/UMKD/621.38/А 769-112224951 | |
| Составитель | Еромасов, Роман Георгиевич | |
| Составитель | Кравцова, Елена Дагриевна | |
| Составитель | Спектор, Юрий Ефимович |
Файлы в этом документе
| Файл | Размер | Формат | Просмотр |
|---|---|---|---|
|
В этом документе нет ни одного файла. |
|||