Показать сокращенную информацию
Features of the Metallization Influence on Phase Velocities of Acoustic Waves in Piezoelectric Plates
Автор | Zolotova, Olga P. | en |
Автор | Burkov, Sergey I. | en |
Автор | Золотова, Ольга П. | ru_RU |
Автор | Бурков, Сергей И. | ru_RU |
Дата внесения | 2019-11-19T06:46:28Z | |
Дата, когда ресурс стал доступен | 2019-11-19T06:46:28Z | |
Дата публикации | 2019-12 | |
URI (для ссылок/цитирований) | https://elib.sfu-kras.ru/handle/2311/127030 | |
Аннотация | The paper presents an analysis of the influence of the load represented by two metal layers on the change in the phase velocity of the dispersion modes of the elastic Lamb and SH-waves in "Me/ZnO/Me" and "Me/AlN/Me" structures depending on the elastic wave frequency and the ratio of the metal layer to the piezoelectric layer thickness. Aluminum (Al), molybdenum (Mo) and platinum (Pt) are considered as the metal layer materials (Me). Only the elastic Lamb wave modes have localized maxima of the sensitivity curve S for all types of structures. Systems with low values of acoustic impedances for layers and plates materials have maximum values of S for metallization with thin layers, and also have minimal differences in the profiles of the components of the displacement vectors of the elastic wave. Systems with the most different values of acoustic impedances of layers and plates materials have maximum values of S when metallized with thick layers, and also have maximum differences in the profiles of the components of the displacement vectors of the elastic wave. PACS: 43.25.Fe; 43.35.Cg; 77.65.-j | en |
Аннотация | В работе выполнен анализ влияния нагрузки в виде двух металлических слоев на изменение фазовой скорости дисперсионных мод упругой волны Лэмба и SH–волны в структурах вида "Me/ZnO/Me"и "Me/AlN/Me"в зависимости от частоты упругой волны и отношения толщин слоев металла и пьезоэлектрика. В качестве материалов металлического слоя (Me) использовали алюминий (Al), молибден (Mo) и платину (Pt). Только моды упругой волны Лэмба обладают локализованными максимумами чувствительности S для всех типов структур. Системы с низкими значениями акустических импедансов материалов слоев и пластин обладают максимальными значениями S при металлизации тонкими слоями, а также имеют минимальные отличия профилей компонент векторов смещений упругой волны. Системы с максимально различными значениями акустических импедансов материалов слоев и пластин обладают максимальными значениями S при металлизации толстыми слоями, а также имеют максимальные отличия профилей компонент векторов смещений упругой волны | ru_RU |
Язык | en | en |
Издатель | Сибирский федеральный университет. Siberian Federal University | en |
Тема | piezoelectric plate | en |
Тема | Lamb wave | en |
Тема | SH-wave | en |
Тема | mass loading | en |
Тема | computer simulation | en |
Тема | пьезоэлектрическая пласти | ru_RU |
Тема | волна Лэмба | ru_RU |
Тема | SH–волна | ru_RU |
Тема | массовая нагрузка | ru_RU |
Тема | компьютерное моделирование | ru_RU |
Название | Features of the Metallization Influence on Phase Velocities of Acoustic Waves in Piezoelectric Plates | en |
Альтернативное название | Особенности влияния металлизации на фазовые скорости акустических волн в пьезоэлектрических пластинах | ru_RU |
Тип | Journal Article | en |
Контакты автора | Zolotova, Olga P.: Reshetnev Siberian State University of Science and Technology Krasnoyarskiy Rabochiy, 31, Krasnoyarsk, 660037 Russia; zolotova@sibsau.ru | en |
Контакты автора | Burkov, Sergey I.: Institute of Engineering Physics and Radio Electronics Siberian Federal University Svobodny, 79, Krasnoyarsk, 660041 Russia; sburkov@sfu-kras.ru | en |
Контакты автора | Золотова, Ольга П.: НОЦ «Институт космических исследований и высоких технологий». Сибирский государственный университет науки и технологий им. М. Ф.Решетнева Красноярский рабочий, 31, Красноярск, 660037 Россия | ru_RU |
Контакты автора | Бурков, Сергей И.: Институт инженерной физики и радиоэлектроники Сибирский федеральный университет Свободный, 79, Красноярск, 660041 Россия | ru_RU |
Страницы | 718–727 | ru_RU |
DOI | 10.17516/1997-1397-2019-12-6-718-727 | |
Журнал | Журнал Сибирского федерального университета. Математика и физика. Journal of Siberian Federal University. Mathematics & Physics; 2019 12 (6) | en |