Взаимодействие газовой фазы с расплавом в процессе выращивания монокристаллов германия

Abstract

Проведен термодинамический анализ взаимодействия газовой фазы с расплавом в ходе выращивания монокристаллов германия. Рассмотрены процессы роста кристаллов в среде инертного газа и кристаллизации Ge в среде водорода. Установлена взаимосвязь концентрации кислорода в слитках полупроводникового германия с парциальным давлением кислорода в инертном газе и парциальным давлением водяного пара в водороде. Предложена термодинамическая модель взаимодействия кислорода и влаги в газовой среде с расплавом германия

A thermodynamic analysis of the interaction of the gas phase with the germanium melt during of crystal growth was carried out. The processes of crystal growth in inert gas and crystallization of germanium in a hydrogen atmosphere was considered. Quantitative relationship of oxygen concentration in the semiconductor Ge with a of an inert gas and in hydrogen has been established. A thermodynamic model of the interaction of the gas phase with the germanium melt in the process of crystals growth was created